[发明专利]电流可抹除可程式只读记忆体元件及其制造方法有效

专利信息
申请号: 200610007677.3 申请日: 2006-02-17
公开(公告)号: CN1905196A 公开(公告)日: 2007-01-31
发明(设计)人: 刘源鸿;傅士奇;罗际兴;蔡嘉雄 申请(专利权)人: 台湾积体电路制造股份有限公司
主分类号: H01L27/115 分类号: H01L27/115;H01L29/788;H01L29/423;H01L21/8247;H01L21/336;H01L21/28
代理公司: 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 代理人: 寿宁;张华辉
地址: 台湾省新竹科学*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 发明是有关于一种电流可抹除可程式只读记忆体元件及其制造方法。该电流可抹除可程式只读记忆体的元件,至少包含一浮动闸极电极,该浮动闸极包含一外部边缘部分。其中,该外部边缘部分包含复数电荷转换点的尖锐尖端。该电流可抹除可程式只读记忆体的元件的形成方法,至少包括下列步骤:形成一浮动闸极电极,其中该浮动闸极电极包含一外部边缘部分,该外部边缘部分包含复数电荷转换点的尖锐尖端。本发明可以改善元件的功能、可靠度以及配合记忆体尺寸的缩小所需的制程空间,非常适于实用。
搜索关键词: 电流 程式 只读 记忆体 元件 及其 制造 方法
【主权项】:
1、一种电流可抹除可程式只读记忆体元件,其特征在于其至少包含:一浮动闸极电极,包含一外部边缘部分,其中该外部边缘部分包含复数电荷转换点的尖锐尖端。
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