[发明专利]固体摄像器件及其制造方法

摘要

提供一种固体摄像器件，具备半导体衬底(1)，该半导体衬底(1)上具有：多个受光部，排列成1维状或2维状；垂直传送部，将从受光部读出的信号电荷沿垂直方向传送；水平传送部，将由垂直传送部传送的上述信号电荷沿水平方向传送；阻挡区(5)，与上述水平传送部相邻，形成为仅使水平传送部的剩余电荷通过；漏区(6)，与上述阻挡区(5)相邻，用于将通过了上述阻挡区(5)的上述剩余电荷排出；以及绝缘层(8)，与上述漏区(6)相邻；上述漏区(6)形成为，其一部分位于上述绝缘层(8)的下层。

主权项

1、一种固体摄像器件，具备半导体衬底，该半导体衬底上具有：多个受光部，排列成1维状或2维状；垂直传送部，将从上述受光部读出的信号电荷沿垂直方向传送；水平传送部，将由上述垂直传送部传送的上述信号电荷沿水平方向传送；阻挡区，与上述水平传送部相邻，形成为仅使上述水平传送部的剩余电荷通过；漏区，与上述阻挡区相邻，用于将通过了上述阻挡区的上述剩余电荷排出；以及绝缘层，与上述漏区相邻；其特征在于，上述漏区形成为其一部分位于上述绝缘层的下层。