[发明专利]角速度传感器及其制造方法无效
| 申请号： | 200610001940.8 | 申请日： | 2006-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN1811460A | 公开（公告）日： | 2006-08-02 |
| 发明（设计）人： | 松户秀亮;吉松昌裕;井上孝弘;菊池贤一 | 申请（专利权）人： | 日本电波工业株式会社 |
| 主分类号： | G01P9/04 | 分类号： | G01P9/04 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 程伟;王锦阳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种易于固定音叉型石英元件及调整并且防止因废弃不合格品造成浪费，又易于小型化的角速度传感器及其制造方法。本发明特别涉及一种包括如下结构的角速度传感器，包括：音叉型石英元件，其上配置驱动电极及传感电极；独立台座，其上固定音叉基部的一个主面且预先一体化；容器主体，其密封上述音叉型石英元件，并且有供与上述音叉型石英元件一体化的上述台座固定到其底面用的凹部；振荡电路，驱动上述音叉型石英元件；信号处理电路；上述容器主体内、外部配置IC，与上述台座一体化的上述音叉型石英元件的重心移向上述音叉基部，上述台座具有可以保持上述音叉型石英元件的水平方向的重量或/及形状。 | ||
| 搜索关键词： | 角速度 传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种角速度传感器，其包括：音叉型石英元件，其上配置激励音叉振动的驱动电极及检测出随被检测体的角速度而产生的电荷的传感电极；独立的台座，其上固定上述音叉型石英元件的音叉基部的一个主面且预先一体化；容器主体，其密封上述音叉型石英元件，并且有供与上述音叉型石英元件一体化的上述台座固定到其底面用的凹部；振荡电路，驱动上述音叉型石英元件；信号处理电路，其根据上述电荷，生成对应角速度的信号；上述容器主体内、外部配置的IC，其特征在于：与上述台座一体化的上述音叉型石英元件的重心移向上述音叉基部，上述台座具有可以保持上述音叉型石英元件的水平方向的重量或/及形状。
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- 樋口祐史 - 株式会社电装
- 2005-11-10 - 2006-06-07 - G01P9/04
- 一种角速度探测(100)包括通过驱动梁(40)支承在基体(10)上的盘状惯性质量块(30)和通过探测梁(50)连接在惯性质量块上的第二质量块(32)。惯性质量块(30)由静电力驱动沿其绕中心轴(z)的转动方向振荡。当惯性质量块(30)在振荡时，同时绕与中心轴(z)垂直的探测轴(x)的角速度(Ωx)施加在第二质量块(32)上时，第二质量块(32)沿平行于中心轴(z)的方向位移。第二质量块(32)与基体(10)之间的电容随着第二质量块的位移而变化。基于电容的变化而探测角速度(Ωx)。因为驱动梁(40)允许惯性质量块(30)仅沿其转动方向振荡，可以容易地设计和制造驱动梁(40)。
- 微机械－电子系统技术固态角速率陀螺-200420042233.X
- 谷荣祥;张志英;何永革;董红娟;金皖田 - 西安中星测控有限责任公司
- 2004-07-23 - 2006-05-24 - G01P9/04
- 本实用新型涉及一种用于导弹控制、地质勘探、工业测控、飞行器稳定控制、捷联惯导、汽车自动驾驶等领域中测量角速率的陀螺，由采用微机械－电子系统技术的芯片构成的敏感电路、信号处理器、主放大器及零偏置控制器、非线性纠正器、量程扩展器、温漂补偿器、带宽扩展器组成，敏感电路的输出端经信号处理器接至主放大器的输入端，零偏置控制器、非线性纠正器、量程扩展器、温漂补偿器和带宽扩展器相并联，其输出端接至主放大器输入端。产品具有高可靠性和高封装坚固性，并具备自检测功能，能够实现检测，另产品还具有零偏置校准、温漂补偿、宽的测量范围和带宽及非线性纠正功能，更兼有宽范围的工作温度、体积小、重量轻和耐高冲击加速度的特点。
- 微机械－电子系统技术固态角速率陀螺-200410026355.4
- 谷荣祥;张志英;何永革;董红娟;金皖田 - 西安中星测控有限责任公司
- 2004-07-23 - 2006-01-25 - G01P9/04
- 本发明涉及一种用于导弹控制、地质勘探、工业测控、飞行器稳定控制、捷联惯导、汽车自动驾驶等领域中测量角速率的陀螺，由采用微机械－电子系统技术的芯片构成的敏感电路、信号处理器、主放大器及零偏置控制器、非线性纠正器、量程扩展器、温漂补偿器、带宽扩展器组成，敏感电路的输出端经信号处理器接至主放大器的输入端，零偏置控制器、非线性纠正器、量程扩展器、温漂补偿器和带宽扩展器相并联，其输出端接至主放大器输入端。产品具有高可靠性和高封装坚固性，并具备自检测功能，能够实现机内检测，另产品还具有零偏置校准、温漂补偿、宽的测量范围和带宽及非线性纠正功能，更兼有宽范围的工作温度、体积小、重量轻和耐高冲击加速度的特点。
- 角速度检测器-200510083547.3
- 平野研二 - 株式会社电装
- 2005-07-08 - 2006-01-11 - G01P9/04
- 一种角速度检测器(S1－S5)，包括角速度检测元件(100)，其具有振动体(20)；该振动体布置在底部基片(10)中，以在相对于该底部基片水平的表面上振动。该角速度检测元件根据振动体的振动来检测绕垂直于底部基片的轴的角速度。在角速度检测器中，电路基片(200)通过粘结体(300)结合到底部基片的第一表面上，且角速度检测元件的第二表面通过结合线(70)与电路基片电连接。此外，至少在对应于底部基片的第二表面上的结合线(70)的结合部分(70a)的部位处，所述粘结体局部地布置在底部基片的第一表面上。从而，可容易地进行精确的线结合。
- 专利分类
