[发明专利]用于测量固态前驱体传输系统中的流率的方法和系统

摘要

本发明改进了用于确定到沉积工具的前驱体蒸汽的流率的测量精度，尤其用于低蒸汽压前驱体，例如羰基钌(Ru₃(CO)₁₂)或羰基铼(Re₂(CO)₁₀)。在一个实施例中，系统(1、100)包括被提供用于测量流率的压差压力计。还提供了一种测量和校准的方法。

主权项

1.一种用于在衬底上形成难熔金属膜的沉积系统，包括：处理室，所述处理室具有被配置为支撑所述衬底并加热所述衬底的衬底夹持器、被配置为将金属前驱体蒸汽引入到所述衬底上方的蒸汽分配系统、以及被配置为抽空所述处理室的泵系统；金属前驱体蒸发系统，所述金属前驱体蒸发系统被配置为使金属前驱体蒸发；蒸汽传输系统，所述蒸汽传输系统具有耦合到所述金属前驱体蒸发系统的出口的第一端和耦合到所述处理室的所述蒸汽分配系统的入口的第二端；载气供应系统，所述载气供应系统耦合到所述金属前驱体蒸发系统或所述蒸汽传输系统中的至少一个或这两者，并且被配置为以第一流提供载气以将所述金属前驱体蒸汽在载气中输运到所述蒸汽分配系统的所述入口；以及流测量系统，所述流测量系统包括耦合到参考气体管线并且被配置为经过所述参考气体管线以第二流提供参考气体的参考气体源，所述流测量系统耦合到所述蒸汽传输系统，并且被配置为通过测量经过所述蒸汽传输系统的所述载气的所述第一流和经过所述参考气体管线的所述参考气体的所述第二流之间的压强差，并测量所述蒸汽传输系统和所述参考管线中的至少一个中的绝对压强，来测量与在所述载气中输运的所述金属前驱体蒸汽的量有关的流参数。