[发明专利]用于高频测量的探针头有效
| 申请号： | 200580040909.9 | 申请日： | 2005-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN101076734A | 公开（公告）日： | 2007-11-21 |
| 发明（设计）人： | 斯蒂芬·西斯;迈克尔·沃利特策 | 申请（专利权）人： | 罗森伯格高频技术有限及两合公司 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 赵科 |
| 地址： | 德国弗*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种尤其用于测量探针或测量头的接触装置，用于尤其在半导体晶片上的高频测量，具有用于与平面结构电接触的接触端(12)，其中在接触端(12)处设置具有至少两个由电介质(10)支承的导体(14)的共面导体结构，在电介质(10)和接触端(12)之间，这样构造探针头，使得空间自由且对于保持电介质(10)弹性地设置共面导体结构的导体(14)。本发明的特征在于，在电介质(10)上设置至少一个用于传输电信号的装置(24)，该装置这样与共面导体结构的至少一个导体(14)电连接，使得该装置(24)传输至少一个与该装置(24)电连接的导体(14)的信号。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 高频 测量 探针 | ||
【主权项】：
1.一种尤其用于测量探针或测量头的接触装置，用于尤其是半导体晶片上的高频测量，具有用来与平面结构电接触的接触端(12)，其中在接触端(12)处设置具有至少两个由电介质(10)支承的导体(14)的共面导体结构，在电介质(10)与接触端(12)之间这样构造探针头，以便空间自由地并对于保持电介质(10)弹性地设置共面导体结构的导体(14)，其特征在于，在所述电介质(10)上设置至少一个用于传输电信号的装置(24)，所述用于传输电信号的装置(24)与共面导体结构的至少一个导体(14)电连接，使得所述装置(24)传输至少一个与所述装置(24)电连接的导体(14)的信号。
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