[发明专利]用于探测物体的平移的探测系统无效
| 申请号： | 200580039740.5 | 申请日： | 2005-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN101061370A | 公开（公告）日： | 2007-10-24 |
| 发明（设计）人： | 雷纳图斯·G.·克拉韦尔;约翰·C.·康普特;皮特·范德梅尔 | 申请（专利权）人： | 皇家飞利浦电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G01D5/38 | 分类号： | G01D5/38 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 王英 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 本发明涉及用于探测物体(2)的平移(T)的系统(1)，所述物体具有施加于其上的衍射图案(3)。所述系统包括：用于向所述衍射图案提供入射光束(I)，从而从所述衍射图案获得衍射光束(D)的装置(4)；用于通过所述入射光束和所述衍射光束之间的干涉测量相位差的装置(4)；用于基于所述的测得的相位差探测所述平移的装置(4)。本发明还涉及一种用于探测物体(2)的平移的方法；重定向装置6和频率复用系统。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 探测 物体 平移 系统 | ||
【主权项】：
1、一种用于探测具有衍射图案(3)的物体(2)的平移(T)的系统(1)，所述系统包括：用于向所述衍射图案提供入射光束(I)，从而从所述衍射图案获得衍射光束(D)的装置(4)；用于通过所述入射光束和所述衍射光束之间的干涉测量相位差的装置(4)；用于基于所述的测得的相位差探测所述平移的装置(4)。
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