[发明专利]适用于对于待测的物体上的薄层的厚度进行测量的测量装置的标定机构无效
| 申请号： | 200580018528.0 | 申请日： | 2005-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN1997868A | 公开（公告）日： | 2007-07-11 |
| 发明（设计）人： | H·费希尔 | 申请（专利权）人： | 赫尔穆特·费希尔地产两合公司 |
| 主分类号： | G01B7/06 | 分类号： | G01B7/06 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 曹若;赵辛 |
| 地址： | 德国辛*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种适用于对于待测的物体上的薄层的厚度进行测量的测量装置的标定机构，它包括具有平坦上侧面和平坦下侧面的标定表面(12)，该上、下侧面以预定的距离彼此分开。标定表面(12)与至少一个边缘区域(18)分开，并且标定表面(12)通过至少一个过渡区域(14)连接到该至少一个边缘区域(18)上。 | ||
| 搜索关键词： | 适用于 对于 物体 薄层 厚度 进行 测量 装置 标定 机构 | ||
【主权项】：
1、适用于对于待测的物体上的薄层的厚度进行测量的测量装置的标定机构，它包括具有平坦上侧面和平坦下侧面的标定表面(12)，所述上、下侧面间隔着预定的厚度，其特征在于，标定表面(12)与至少一个边缘区域(18)分开布置，并且标定表面(12)通过至少一个过渡区域(14)连接到所述至少一个边缘区域(18)上。
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