[发明专利]GaN系半导体装置有效

专利信息
申请号: 200580010946.5 申请日: 2005-05-02
公开(公告)号: CN1943035A 公开(公告)日: 2007-04-04
发明(设计)人: 池田成明;李江;吉田清辉 申请(专利权)人: 古河电气工业株式会社
主分类号: H01L29/47 分类号: H01L29/47;H01L29/872
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 代理人: 李贵亮
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 提供一种GaN系半导体装置,其通态电阻低、反偏压的电压外加时的漏电流非常小,而且耐压特性非常优异,其结构具备:III-V族氮化物半导体层,其至少包含1个带隙能量不同的III-V族氮化物半导体的异质结结构;第一阳极电极,其以肖特基结合配置在所述III-V族氮化物半导体层的表面;第二阳极电极,其以肖特基结合配置在所述III-V族氮化物半导体层的表面并与所述第一阳极电极电连接,并且形成比所述第一阳极电极形成的肖特基势垒更高的肖特基势垒;及绝缘保护膜,其与所述第二阳极电极接触,并配置在所述III-V族氮化物半导体层的表面。
搜索关键词: gan 半导体 装置
【主权项】:
1.一种GaN系半导体装置,其特征是,具备:III-V族氮化物半导体层;第一阳极电极,其以肖特基结合配置在所述III-V族氮化物半导体层的表面;第二阳极电极,其以肖特基结合配置在所述III-V族氮化物半导体层的表面并与所述第一阳极电极电连接,并且形成比所述第一阳极电极形成的肖特基势垒更高的肖特基势垒;以及绝缘保护膜,其与所述第二阳极电极接触,并配置在所述III-V族氮化物半导体层的表面。
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