[发明专利]GaN系半导体装置有效
申请号: | 200580010946.5 | 申请日: | 2005-05-02 |
公开(公告)号: | CN1943035A | 公开(公告)日: | 2007-04-04 |
发明(设计)人: | 池田成明;李江;吉田清辉 | 申请(专利权)人: | 古河电气工业株式会社 |
主分类号: | H01L29/47 | 分类号: | H01L29/47;H01L29/872 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 李贵亮 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 提供一种GaN系半导体装置,其通态电阻低、反偏压的电压外加时的漏电流非常小,而且耐压特性非常优异,其结构具备:III-V族氮化物半导体层,其至少包含1个带隙能量不同的III-V族氮化物半导体的异质结结构;第一阳极电极,其以肖特基结合配置在所述III-V族氮化物半导体层的表面;第二阳极电极,其以肖特基结合配置在所述III-V族氮化物半导体层的表面并与所述第一阳极电极电连接,并且形成比所述第一阳极电极形成的肖特基势垒更高的肖特基势垒;及绝缘保护膜,其与所述第二阳极电极接触,并配置在所述III-V族氮化物半导体层的表面。 | ||
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【主权项】:
1.一种GaN系半导体装置,其特征是,具备:III-V族氮化物半导体层;第一阳极电极,其以肖特基结合配置在所述III-V族氮化物半导体层的表面;第二阳极电极,其以肖特基结合配置在所述III-V族氮化物半导体层的表面并与所述第一阳极电极电连接,并且形成比所述第一阳极电极形成的肖特基势垒更高的肖特基势垒;以及绝缘保护膜,其与所述第二阳极电极接触,并配置在所述III-V族氮化物半导体层的表面。
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