[实用新型]化学气相成膜装置及其下拉机构

摘要

一种化学气相成膜装置，适于对基板进行成膜制造工艺，此化学气相成膜装置包括气相成膜室与下拉机构，而此下拉机构具有基座、多条拉力线与多个支承单元。其中，多条拉力线实质上相互平行且设置于基座上，而每一拉力线之两端分别固定于基座之相对两侧。此外，每一支承单元包括顶销与下拉件，且顶销具有与基座接触之底端，而顶销底端之端面是圆弧面。因此，具有圆弧面底端之顶销在与基座接触时可减缓应力集中的现象，进而延长顶销之使用寿命。

主权项

1.一种下拉机构，适用于化学气相成膜装置，其特征在于该下拉机构包括：基座；多条拉力线，实质上相互平行而设置于该基座上，其中各该拉力线之两端分别固定于该基座之相对两侧；多个支承单元，各该支承单元包括：顶销，位于上述这些拉力线之间，且该顶销具有用以支承基板之支承端以及用以与该基座接触之底端，其中该底端之端面圆弧面；以及下拉件，套置于该顶销上，并位于上述这些拉力线与该基座之间，以通过该拉力线之下拉而带动该顶销下降。