[实用新型]化学气相沉积室的多区域加热台座无效
| 申请号： | 200520011077.5 | 申请日： | 2005-04-04 |
| 公开（公告）号： | CN2825652Y | 公开（公告）日： | 2006-10-11 |
| 发明（设计）人： | 约翰·M·怀特;恩斯特·凯勒 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C16/458 | 分类号： | C23C16/458;C23C16/46 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 | 代理人： | 刘亚文 |
| 地址： | 美国加利福尼亚州CA9*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种化学气相沉积室的多区域加热台座，用于处理基板，其中该台座用于支撑该基板，并包括台座轴，用于将台座在沉积室内沿垂直方向移动，其具有平台，具有第一半部及第二半部；第一外区加热器，埋设于该平台的第一半部的周边；第一内区加热器，埋设于该平台由该第一外区加热器所围绕的范围内，且远离该第一外区加热器；第二外区加热器，埋设于该平台的第二半部的周边；及第二内区加热器，埋设于该平台由该第二外区加热器所围绕的范围内，且远离该第二外区加热器。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 沉积 区域 加热 台座 | ||
【主权项】：
1.一种化学气相沉积室的多区域加热台座，用于处理基板，其中该台座用于支撑该基板，并包括台座轴，用于将台座在沉积室内沿垂直方向移动，其特征是具有：平台，具有第一半部及第二半部；第一外区加热器，埋设于该平台的第一半部的周边；第一内区加热器，埋设于该平台由该第一外区加热器所围绕的范围内，且远离该第一外区加热器；第二外区加热器，埋设于该平台的第二半部的周边；及第二内区加热器，埋设于该平台由该第二外区加热器所围绕的范围内，且远离该第二外区加热器。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
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C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
