[发明专利]波纹缺陷检查方法和系统及光掩模的制造方法

摘要

波纹缺陷检查方法和系统及光掩模的制造方法。本发明的课题是提供可以有效地且高精度地进行波纹缺陷检查的波纹缺陷检查方法。作为解决手段，波纹缺陷检查方法，检查在具有规律地排列了多个单位图形的重复图形的光掩模(50)的上述重复图形中产生的波纹缺陷，在利用图形信息获取装置(20)的摄像机(21)拍摄到的光掩模的整体图像中，指定具有成为波纹缺陷检查的对象的重复图形的区域作为检查区域，从该检查区域中的重复图形的利用显微镜(22)拍摄到的图像中获取相关重复图形的图形信息，根据该图形信息确定通过波纹缺陷检查装置(10)进行波纹缺陷检查的检查条件，由上述波纹缺陷检查装置根据该检查条件实施波纹缺陷检查。

主权项

1.一种波纹缺陷检查方法，检查在具有规律地排列了多个单位图形的重复图形的被检查体的上述重复图形中产生的波纹缺陷，其特征在于，在上述被检查体的整体图像中指定成为波纹缺陷检查的检查对象的检查区域，从该检查区域中的上述重复图形的图像中获取相关重复图形的图形信息，根据该图形信息确定波纹缺陷检查的检查条件，根据该检查条件实施波纹缺陷检查。