[发明专利]薄膜晶体管阵列基板及其制作方法有效
| 申请号： | 200510116744.0 | 申请日： | 2005-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN1955827A | 公开（公告）日： | 2007-05-02 |
| 发明（设计）人： | 刘梦骐;陈晓芬 | 申请（专利权）人： | 中华映管股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1368 | 分类号： | G02F1/1368;H01L29/786 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 陈亮 |
| 地址： | 台湾省台北*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种薄膜晶体管阵列基板及其制作方法，其中扫描配线与数据配线设置于基板上，并于基板上划分出多个像素区域，而薄膜晶体管对应于像素区域，并通过扫描配线与数据配线进行驱动。像素电极分别设置于像素区域内，且每一像素电极电连接至其所对应的薄膜晶体管。另外，栅绝缘层设置于基板上，并覆盖扫描配线与薄膜晶体管的栅极，而图案化衬层设置于栅绝缘层上，并于每一数据配线下方形成多个不连续图案，以暴露出数据配线下方的部分栅绝缘层，而使得每一数据配线的一部分直接接触其下方的栅绝缘层。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜晶体管 阵列 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜晶体管阵列基板，其特征是包括：基板；多条扫描配线，设置于该基板上；多条数据配线，设置于该基板上，且上述这些数据配线与上述这些扫描配线于该基板上划分出多个像素区域；多个薄膜晶体管，分别设置于上述这些像素区域，并通过上述这些扫描配线与上述这些数据配线进行驱动；多个像素电极，分别设置于上述这些像素区域内，且各该像素电极电连接至其所对应的该薄膜晶体管；栅绝缘层，设置于该基板上，并覆盖上述这些扫描配线与上述这些薄膜晶体管的栅极；以及图案化衬层，设置于该栅绝缘层上，并对应位于上述这些数据配线下方，其中该图案化衬层于各该数据配线下方形成多个不连续图案，以暴露出上述这些数据配线下方的部分该栅绝缘层，而使得各该数据配线的一部分直接接触其下方的该栅绝缘层。
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