[发明专利]研磨液组合物有效
| 申请号： | 200510085991.9 | 申请日： | 2005-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN1733861A | 公开（公告）日： | 2006-02-15 |
| 发明（设计）人： | 西本和彦;平幸治;末永宪一;本间祐一 | 申请（专利权）人： | 花王株式会社 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 陈建全 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及研磨液组合物及研磨粒子调配液，含有研磨材料和水，pH值为0.1～7，且满足以下条件：(1)在每1cm3的研磨液组合物或研磨粒子调配液中，大于等于0.56μm但不足1μm的研磨粒子为500000个或以下，(2)大于等于1μm的研磨粒子相对于研磨液组合物或研磨粒子调配液中的所有研磨粒子为0.001重量％或以下；涉及研磨液组合物及研磨粒子调配液的制造方法，具有以下精制工序：(I)用深层型过滤器过滤精制前的研磨液组合物或研磨粒子调配液而得到中间过滤物，(II)用褶皱型过滤器过滤中间过滤物而得到研磨液组合物或研磨粒子调配液，其中在工序I中，过滤器入口压力的波动幅度为50kPa或以下；涉及基板的制造方法，其具有使用研磨液组合物并通过研磨机研磨基板的工序。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 组合 | ||
【主权项】：
1.一种研磨液组合物，其含有研磨材料和水，pH值为0.1～7，且满足以下条件：(1)在每1cm3的研磨液组合物中，大于等于0.56μm但不足1μm的研磨粒子为500000个或以下，以及(2)大于等于1μm的研磨粒子相对于研磨液组合物中的所有研磨粒子为0.001重量％或以下。
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