[发明专利]移送装置及其控制方法以及真空处理装置有效
| 申请号： | 200510081127.1 | 申请日： | 2005-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN1715007A | 公开（公告）日： | 2006-01-04 |
| 发明（设计）人： | 南展史;吾乡健二;川口崇文;小池土志夫;汤山纯平 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱发科 |
| 主分类号： | B25J9/06 | 分类号： | B25J9/06;B25J18/00;B25J13/00;H01L21/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 张天安 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供一种移送装置，通过将旋转用马达的旋转驱动力正确地传递到移送用臂上，并且正确地检测旋转驱动轴的旋转角度，可将移送部上的移送对象物移送到正确的位置。本发明的移送装置(1)在具有气密构造的壳体(61)内配设有能够以规定的同心旋转轴为中心相互独立地转动的第1～第3驱动轴(1a～1c)，分别安装在第1～第3驱动轴(1a～1c)的规定部位上的永久磁铁(32a～32c)，以及与永久磁铁(32a～32c)相对应地设置的电磁线圈(34a～34c)。基于规定的信息向电磁线圈(34a～34c)供应驱动电流，驱动第1～第3驱动轴(1a～1c)，通过固定在第1～第3驱动轴(1a～1c)上的第1和第2连杆(12a、12b)对移送对象物进行移送。 | ||
| 搜索关键词： | 移送 装置 及其 控制 方法 以及 真空 处理 | ||
【主权项】：
1.一种移送装置，备有：具有气密构造的壳体；配设在前述壳体内，能够以规定的同心旋转轴为中心相互独立地转动的第1～第3驱动轴；分别配设在前述第1～第3驱动轴的规定部位上的永久磁铁；在前述壳体内与前述永久磁铁相对应地设置的第1～第3电磁定子；基于规定的信息向前述第1～第3电磁定子供应驱动电流的驱动机构；由前述第1～第3驱动轴驱动，移送规定的移送对象物的可动臂总成。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社爱发科，未经株式会社爱发科许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200510081127.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
