[发明专利]干涉图形化有效
| 申请号： | 200480039697.8 | 申请日： | 2004-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN1902552A | 公开（公告）日： | 2007-01-24 |
| 发明（设计）人： | 加里·艾伦 | 申请（专利权）人： | 英特尔公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京嘉和天工知识产权代理事务所 | 代理人： | 严慎 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 衬底的干涉图形化。可以产生包括干涉条纹的干涉图形来照射衬底，衬底上被所述干涉图形实际照射的区域可以被限制，被照射区域可以沿和所述干涉条纹相交的方向横过所述衬底来位移，并且无论所述被照射区域的位移如何，可以维持所述干涉图形相对于所述衬底的基本恒定的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 干涉 图形 | ||
【主权项】：
1.一种系统，包括：干涉图形发生器，所述干涉图形发生器在第一部位产生包括干涉条纹的干涉图形；空间滤波器，所述空间滤波器至少部分地限制在所述第一部位被所述干涉图形实际照射的区域；以及位置控制器，所述位置控制器使所述被实际照射区域沿和所述干涉条纹相交的方向横过所述第一部位发生位移，并且无论所述位移如何，维持所述干涉图形相对于所述第一部位的基本恒定的位置。
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