[发明专利]具有质量分离的带状离子束无效
| 申请号： | 200480034791.4 | 申请日： | 2004-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN1886817A | 公开（公告）日： | 2006-12-27 |
| 发明（设计）人： | V·班威尼斯特 | 申请（专利权）人： | 艾克塞利斯技术公司 |
| 主分类号： | H01J37/30 | 分类号： | H01J37/30;H01J37/317 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 李静岚;梁永 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明使用一个质量分析器，包括一对永久磁体，以从带状型离子束中的多个种类选择所需的种类。这些永久磁体在一个小区域中提供一适当大小的实质均匀的磁场，其无法利用在一所需方向施加一特定力的电磁体而获得。施加力到带状离子束的通过粒子，并且使粒子的路径根据他们各自的质量而改变。因此，选择的种类可以从射束藉由该力而获得，这个力使被拒绝的种类以及/或是污染物无法通过质量分析器(例如，撞击磁体本身以及/或是在分析器内的其它障壁)。由于质量分析器，可以使用产生多个种类的掺杂剂/种类源，而不是使用仅仅提供单一掺杂剂/种类的来源。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 质量 分离 带状 离子束 | ||
【主权项】：
1.一种带状射束离子植入系统，包括：离子源，可操作用于从一源材料产生多个离子种类；抽取系统，设置成从该离子源中抽取该离子种类并且产生带状离子束；以及质量分析器，其包括第一永久磁体以及第二永久磁体，产生穿过该带状离子束射束路径的实质均匀的磁场，以从初始存在于该带状离子束中的多个种类中选择一个种类。
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