[发明专利]用于评估溅射靶/背衬板组件的结合界面的热成像测试方法和装置无效
| 申请号： | 200480023364.6 | 申请日： | 2004-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN1836256A | 公开（公告）日： | 2006-09-20 |
| 发明（设计）人： | 张智国;拉里·E·埃利森;米克海尔·Y·卡查洛夫;约翰·怀特 | 申请（专利权）人： | 卡伯特公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G01N25/72;G01J5/00;H01J37/34;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 宋莉;贾静环 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 公开一种用于热成像评估溅射靶组件的结合完整性的方法和装置。该方法包括对组件的一个表面施加加热或冷却介质或能量，并且使用成像装置获得在组件的相反表面上的相应温度变化的图形记录。还公开一种数学分析记录每一帧中的像素数据的方法，以生成表示组件的结合完整性的积分的归一化温度图。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 评估 溅射 背衬板 组件 结合 界面 成像 测试 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种评估溅射靶组件的结合界面的方法，包括：对所述的溅射靶组件进行热成像分析，其中所述溅射靶组件包括在所述结合界面处结合到溅射靶上的背衬板。
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