[发明专利]磁电管溅射源的滑动阳极无效
| 申请号： | 200480021464.5 | 申请日： | 2004-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN1830055A | 公开（公告）日： | 2006-09-06 |
| 发明（设计）人： | 沃尔特·哈格;派厄斯·格吕嫩费尔德 | 申请（专利权）人： | 优纳克斯巴尔策斯股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/34 | 分类号： | H01J37/34 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 秦晨 |
| 地址： | 列支敦士*** | 国省代码： | 列支敦士登;LI |
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| 摘要： | 一种磁电管溅射源包括多个电极(12)和切换电路(14)。切换电路(14)顺序地将多个电极(12)的每个连接到接地参考，使其成为阳极，同时将多个电极的剩余连接作为阴极。一种操作磁电管溅射源的方法包括步骤：提供多个目标排列；使得多个目标排列的每个用作阴极；以及顺序地使得多个阴极的每个暂时地用作阳极。 | ||
| 搜索关键词： | 磁电 溅射 滑动 阳极 | ||
【主权项】：
1.一种磁电管溅射源，包括：多个电极；以及切换电路，用于顺序地连接所述多个电极的每个作为阳极，以及连接所述多个电极的剩余电极作为阴极。
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