[实用新型]纳米级别图形的压印装置无效
| 申请号： | 200420121033.3 | 申请日： | 2004-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN2762187Y | 公开（公告）日： | 2006-03-01 |
| 发明（设计）人： | 董晓文;顾文琪;司卫华 | 申请（专利权）人： | 中国科学院电工研究所 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 | 代理人： | 关玲;刘秀娟 |
| 地址： | 100080北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种纳米级别图形压印装置，其特征在于包括压力控制组件，运动保证可控组件，温度控制组件和吸附组件。压力控制组件位于安装在台架支撑板[6]上的压力导向圆筒[7]的中上部，运动保证控制组件通过花键导向圆筒[13]安装在压力导向圆筒[7]下部，吸附组件的上真空吸盘[17]与运动保证可控组件的花键导向杆[14]连接，下真空吸盘[18]与台架底座上支撑板[10]连接，温度控制组件位于吸附组件的下真空吸盘[18]的下方，其中加热装置[19]上表面与下真空吸盘[18]下表面紧密接触。本实用新型可使设备成本降低，可靠实用，并操作方便。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米 级别 图形 压印 装置 | ||
【主权项】：
1、一种纳米级别图形的压印装置，其特征在于：包括压力控制组件、运动保证可控组件、温度控制组件和吸附组件；压力控制组件位于安装在台架支撑板[6]上的压力导向圆筒的中上部，运动保证控制组件通过花键导向圆筒[13]安装在压力导向圆筒[7]下部，吸附组件的上真空吸盘[17]与运动保证可控组件的花键导向杆[14]连接，下真空吸盘[18]与台架底座上支撑板[10]连接，温度控制组件位于吸附组件的下真空吸盘[18]的下方，其中加热装置[19]上表面与下真空吸盘[18]下表面紧密接触。
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