[发明专利]薄膜晶体管的制作方法及其结构有效
| 申请号： | 200410074226.2 | 申请日： | 2004-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN1744293A | 公开（公告）日： | 2006-03-08 |
| 发明（设计）人： | 周麟恩;蔡家豪;刘舜逢 | 申请（专利权）人： | 台湾薄膜电晶体液晶显示器产业协会;中华映管股份有限公司;友达光电股份有限公司;广辉电子股份有限公司;瀚宇彩晶股份有限公司;奇美电子股份有限公司;财团法人工业技术研究院;统宝光电股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/336 | 分类号： | H01L21/336;H01L21/84;H01L29/786 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王一斌 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明是一种薄膜晶体管的制作方法及其结构，所述薄膜晶体管的制作方法是利用压印技术，在模版上以金属或金属氧化物按预定图案制作出不透光凸块，将感光材料涂布在基板，以该模版压印该基板时，提供紫外光固化该感光材料，分离模版与基板后，再利用化学溶液去除该基板上未固化的感光材料；借此，经由具有该不透光凸块的该模版压印并固化定型该感光材料，可形成所需的薄膜晶体管。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜晶体管 制作方法 及其 结构 | ||
【主权项】：
1、一种薄膜晶体管的制作方法，所述薄膜晶体管的制作方法是包括：置备一玻璃基板；涂布制作一层负型感光材料于该玻璃基板上；置备一透光模版，该透光模版是按一预定图案布设有不透光凸块；下压该透光模版至该玻璃基板；利用紫外光曝光固化定型该负型感光材料；分离该透光模版与该玻璃基板，提供化学溶液清洗并去除因该不透光凸块遮蔽而未固化定型的该负型感光材料；借此，经由具有该不透光凸块的该透光模版压印并固化定型该负型感光材料，可形成所需的薄膜晶体管。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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