[发明专利]一种化学气相沉积固态先驱体供给设备

摘要

本发明属于复合材料制造技术，涉及一种化学气相沉积装置的改进。它包括惰性气体管路1、进气管12、可编程控制器6，其特征在于，有一个封闭的加热装置8，混合罐10安装在加热装置8的内腔中；有一个由载气管路5、气体质量流量控制器3、固态蒸发器9、压力表4和连接管14组成的气路，固态先驱体放置在固态蒸发器9内。本发明实现了化学气相沉积过程的全自动控制；提高了生产效率和产品质量。

主权项

1、一种化学气相沉积固态先驱体供给设备，包括一根惰性气体管路[1]，其一端与惰性气源连通，其另一端与一个封闭的混合罐[10]的内腔连通，在惰性气体管路[1]上串联着气体质量流量控制器[2]，有一根进气管[12]，其一端与混合罐[10]的内腔连通，其另一端与化学气相沉积装置连通，有一个可编程控制器[6]，它接受气体质量流量控制器[2]的输出信号并控制其工作状态，其特征在于，(1)有一个封闭的加热装置[8]，混合罐[10]安装在加热装置[8]的内腔中，所说的进气管[12]位于加热装置[8]和化学气相沉积装置之间的管路外面包裹着进气管加热器[11]，有一个程序控温仪[7]控制加热装置[8]和进气管加热器[11]的工作状态；(2)有一个由载气管路[5]、气体质量流量控制器[3]、固态蒸发器[9]、压力表[4]和连接管[14]组成的气路，固态蒸发器[9]是一个封闭罐体，安装在加热装置[8]的内腔中，载气管路[5]的一端与载气源连通，其另一端进入加热装置[8]内与固态蒸发器[9]的内腔连通，气体质量流量控制器[3]串联在载气管路[5]的两个端口之间，可编程控制器[6]接受气体质量流量控制器[3]的输出信号并控制其工作状态；压力表[4]通过管路与固态蒸发器[9]的内腔连通；连接管[14]的一端与固态蒸发器[9]的内腔连通，其另一端与混合罐[10]的内腔连通；固态先驱体放置在固态蒸发器[9]内。