[发明专利]光电转换设备和固体图像拾取设备及其驱动和制造方法

摘要

一种光电转换设备(100)具有这样的配置：其中光电转换设备(3)在衬底(1)的表面上形成，绝缘薄膜(11)在衬底(1)上形成，在所述衬底(1)的厚度方向具有凹面和凸面的不平坦部分(18)在光电转换部分(3)的衬底(1)和绝缘薄膜(11)上之间界面的至少一部分上形成，用于降低暗电流的复合区域(19)被形成以便在光电转换部分(3)内包含不平坦部分(18)。该光电转换设备能够获得高灵敏度特性和通过降低界面状态抑制暗电流增加。

主权项

1.一种具有衬底、在所述衬底的表面上形成的光电转换部分和在所述衬底上形成的绝缘薄膜的光电转换设备，包含：所述光电转换部分的所述衬底和所述绝缘薄膜之间界面的至少一部分上形成的不平坦部分，所述不平坦部分具有沿所述衬底的厚度方向形成的不平坦形状；和在所述光电转换部分中形成以便包含所述不平坦部分的至少一部分的用于降低暗电流的复合区域。