[发明专利]固体摄像器件及其制造方法

摘要

本发明的目的是提供水平传送CCD的高传送效率和垂直传送CCD的充足耐压同时实现的固体摄像器件及其制造方法。本发明的固体摄像器件具有：半导体衬底(110)、构成2层重叠多晶硅电极的第1层多晶硅电极(120)、第2层多晶硅电极(130)、形成在半导体衬底(110)的表面部分且成为信号电荷传送通路的埋入沟道区(140)、及蓄积光电转换过的信号电荷的光电二极管布置成二维状态的光电二极管区(150)；水平传送CCD的电极间距离(c)比垂直传送CCD的电极间距离(a)短。

主权项

1.一种固体摄像器件，传送通过对入射光进行光电转换而生成的信号电荷，其特征在于，具备：在半导体衬底上布置成二维状的多个光电转换部、从上述光电转换部接受信号电荷向垂直方向传送的垂直传送CCD、及接受由上述垂直传送CCD传送的信号电荷向水平方向传送的水平传送CCD；上述垂直传送CCD和水平传送CCD的传送电极分别由不少于两层的层结构形成；上述水平传送CCD的传送电极间距离比上述垂直传送CCD的传送电极间距离短。