[发明专利]形成碳纳米管的方法无效
| 申请号： | 200380107266.6 | 申请日： | 2003-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN1853006A | 公开（公告）日： | 2006-10-25 |
| 发明（设计）人： | 康盛球;克雷格·贝 | 申请（专利权）人： | 赛得里姆显示器公司 |
| 主分类号： | C30B29/04 | 分类号： | C30B29/04;C30B29/06 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 郭国清;樊卫民 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 使用等离子体化学淀积方法在基材表面上形成碳纳米管。在纳米管已经生长以后，在新近形成的纳米管结构上实施处理步骤。该后处理可从生长的纳米管的壁上除去石墨及其他碳粒子控制纳米管层的厚度。在相同基材温度下，用等离子体实施后处理。对于该后处理，含氢气体用作等离子体源气体。在从纳米管生长停止转变到后处理步骤期间，等离子体处理室中的压力用上述纯化气体稳定，而不关闭该室中的等离子体。这消除了清除和抽空该等离子体处理室的需要。 | ||
| 搜索关键词： | 形成 纳米 方法 | ||
【主权项】：
1.一种在基材组件上形成多个碳纳米管的方法，包括：通过等离子体化学淀积生长所述的多个碳纳米管；和通过等离子体腐蚀后处理所述的多个生长的碳纳米管。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于赛得里姆显示器公司，未经赛得里姆显示器公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200380107266.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：电梯用紧急制动装置
- 下一篇：金属卤化物灯用石英电弧管
