[发明专利]感放射线性树脂组合物

摘要

本发明提供一种感放射线性树脂组合物，该树脂组合物在使用如KrF准分子激光、ArF准分子激光等远紫外线之类的各种放射线的微细加工中可以用作为化学增幅型抗蚀剂。本发明的感放射线性树脂组合物含有〔A〕含有由下述通式(I－1)表示的重复单元(1－1)的树脂、〔B〕感放射线性酸发生剂(1－(4－正丁氧基萘基)四氢噻吩鎓九氟－正丁磺酸酯等)。进而，还可以含有〔C〕酸扩散控制剂(苯基苯并咪唑等)。

主权项

1.一种感放射线性树脂组合物，其特征在于，含有〔A〕含有由下述通式(I-1)表示的重复单元(1-1)，为碱难溶性或不溶性的、通过酸的作用而变成碱易溶性的树脂、以及〔B〕感放射线性酸发生剂：(式中，R_1a表示氢原子、甲基、碳原子数1～4的羟烷基、或者碳原子数1～4的全氟烷基，X₁和X₂相互独立地表示氢原子、氟原子、碳原子数1～4的烷基、或者碳原子数1～4的氟代烷基，1表示0～5的整数，n表示0～2的整数)。