[发明专利]多轴激光加工机、加工方法及记录计算机程序的记录媒体有效

专利信息
申请号: 200310121354.3 申请日: 2003-12-12
公开(公告)号: CN1507974A 公开(公告)日: 2004-06-30
发明(设计)人: 波多泉;西村利弥;立石秀典;清水康有;村上哲雄 申请(专利权)人: 日立比亚机械股份有限公司
主分类号: B23K26/067 分类号: B23K26/067;G11B23/00
代理公司: 北京银龙专利代理有限公司 代理人: 张敬强
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明的多轴激光加工机、加工方法及记录计算机程序的记录媒体,即使在各个系统中的加工位置互不相同的场合,也可以提高作业效率。使对轴(J1)中的激光(3)的光路进行定位的激光定位装置(6a)和对轴(J2)中的激光(3)的光路进行定位的激光定位装置(6b)相互独立并进行定位动作。调停装置(5)监视激光定位装置(6a)、(6b)是否结束了定位,并使偏转装置(AOM)(4)动作并将激光(3)供给定位结束了的激光定位装置。再有,在激光定位装置6a、6b同时结束了定位的场合,按照预先规定的顺序供给激光3。
搜索关键词: 激光 加工 方法 记录 计算机 程序 媒体
【主权项】:
1.一种多轴激光加工机,具备:输出激光的一个激光振荡器、将上述激光的光路切换到多个方向的偏转装置、分别配置在上述多个光路中的与上述光路数目相同的激光定位装置,其将上述激光供给上述激光定位装置的任何一个并进行加工,其特征在于,还具备调停装置,该调停装置在使上述多个激光定位装置相互独立地动作的同时,将上述激光供给定位结束了的上述激光定位装置,在上述多个激光定位装置同时结束定位的场合,按照预先规定的顺序供给上述激光。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于日立比亚机械股份有限公司,未经日立比亚机械股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/200310121354.3/,转载请声明来源钻瓜专利网。

同类专利
  • 金属零件的制造方法-202310378313.X
  • 青柳光;神永尚典 - 丰田自动车株式会社
  • 2023-04-11 - 2023-10-20 - B23K26/067
  • 提供一种能够根据工件的材料等而容易地调节两束激光的点径之比的技术。金属零件的制造方法,对于来自激光振荡器的激光,利用分束器使激光分支为第一激光和第二激光,利用反射镜使第二激光反射,将第一激光穿过具有第一聚光透镜的第一聚光光学系统向金属制的工件的表面照射,并且将由反射镜反射后的第二激光穿过具有第二聚光透镜的第二聚光光学系统向工件的表面中的第一激光的照射位置照射,来对工件进行焊接。第一聚光光学系统和第二聚光光学系统中的至少一方的聚光光学系统配置成,能够变更工件的表面上的点径,第一激光的点径与第二激光的点径之比使用至少一方的聚光光学系统来调节。
  • 一种高频时域切换的激光复合加工装置-202310485429.3
  • 邓磊敏;徐新科;熊伟 - 华中科技大学
  • 2023-04-28 - 2023-08-01 - B23K26/067
  • 本发明公开了一种高频时域切换的激光复合加工装置,属于激光先进制造技术领域。本发明装置包括激光器、模式转换系统、分光系统、支路模式转换系统、合光系统、激光扫描系统;本发明采用高频时域切换方法,将激光切分为不同时域,同时采用光束整形、偏振调制和波长调节的方法调节激光工艺参数,使得工件在不同的时域获得不同的激光加工工艺参数,为传统激光加工技术提供了切实有效的时域调控手段,时域调控频率能够高达兆赫兹,进而有效解决了多层柔性电路板等新型多层异质材料的高效精密加工与成形问题,本发明提供了多种有效的时域调控手段,有效提高了高频时域调控的可行性、灵活性、适用性。
  • 激光加工设备和激光加工方法-202180073415.X
  • 相川力;林博和 - 株式会社东京精密
  • 2021-10-06 - 2023-07-28 - B23K26/067
  • 一种可以实现维持加工槽的加工质量并防止增加间隔时间的激光加工设备和激光加工方法。提供了分支元件和第二聚光透镜,所述分支元件被配置成将第二激光分支成沿加工进给方向的多束分支光,所述第二聚光透镜被配置成将由分支元件分支的多束分支光聚焦到待加工的行道上。时间段τ被表示为τ=L/V,其中L是分支距离,所述分支距离与由第二聚光透镜聚焦在行道上的每束分支光的相邻的前斑点与后斑点之间的间距相对应,V是加工速度,所述加工速度与相对移动的速度相对应,并且τ是直到后斑点与前斑点的加工位置重叠所花费的时间段,并且满足τ>τ1,其中τ1是当发生第二槽的加工质量的劣化时的时间段的阈值。
  • 光加工装置-202080106603.3
  • 须藤健太 - 株式会社尼康
  • 2020-10-28 - 2023-07-14 - B23K26/067
  • 本发明的光加工装置包括:分割光学系统(14),将入射的第一光束(L1)分割成包括多个光束的第二光束(L2);变倍光学系统(11、19),配置于要入射至分割光学系统的第一光束的光路上、及从分割光学系统射出的第二光束所包括的多个光束的光路上的至少一者;及聚光光学系统(27),使第二光束聚光,所述光加工装置利用来自聚光光学系统的第二光束对物体进行加工。
  • 用于分离工件的方法-202180069547.5
  • J·克莱纳;D·弗拉姆;H·拉韦 - 通快激光与系统工程有限公司
  • 2021-08-18 - 2023-07-04 - B23K26/067
  • 一种用于借助激光束(2)的激光脉冲(20)沿着分离线(10)分离工件(1)、优选用于借助于超短脉冲激光器的超短脉冲切割硅、特别优选用于从硅晶圆分离出芯片的方法,激光束(2)借助分束器光学单元(62)分裂成多个子激光束(26)且子激光束(26)中的每个借助聚焦光学单元(64)聚焦到工件(1)的面(12)上和/或体积中,使得子激光束(26)并排地且彼此间隔开地沿着分离线(10)布置,通过将激光脉冲(20)沿着分离线(10)引入到工件(1)中实施工件(1)中的材料烧蚀,子激光束(26)沿着分离线(10)由其初始位置重复地运动开偏转值,随后沿着分离线(10)运动回到初始位置,该偏转值小于或等于两个相邻的子激光束(26)之间的距离(L)。
  • 用于分离工件的方法-202180069490.9
  • J·克莱纳;D·弗拉姆;H·拉韦;M·赛勒 - 通快激光与系统工程有限公司
  • 2021-08-18 - 2023-06-30 - B23K26/067
  • 本发明涉及一种用于借助激光束(2)的激光脉冲(20)沿着分离线(10)分离工件(1)的方法,其中,激光束(2)借助分束器光学单元(62)被分裂成多个子激光束(26),并且子激光束(26)借助聚焦光学单元(64)聚焦到工件(1)的表面(12)上和/或体积中,使得子激光束(26)并排地并且彼此间隔开地沿着分离线(10)布置,其中,通过所述子激光束(26)的激光脉冲(20)沿着分离线(10)引入到工件中而发生材料烧蚀,并且每个子激光束(26)的激光功率根据在工件(1)中达到的烧蚀深度(AT)进行调整。
  • 一种玻璃切割方法-202310472649.2
  • 李夏;张维哲;蒋仕彬 - 杭州银湖激光科技有限公司
  • 2023-04-27 - 2023-06-27 - B23K26/067
  • 本发明公开了一种玻璃切割方法,提供一激光装置,所述激光装置的具有第一波长的信号光和第二波长的泵浦光,泵浦光在放大器中被吸收转换为信号光,其特征在于:出射激光束由信号光和未吸收的残留泵浦光构成,所述残留泵浦光的能量大于泵浦光总能量的15%,采用波长分光器件将出射激光束分成两束,被分离的残留泵浦光经过一扩束系统调节尺寸后再重新合束,聚焦在待加工玻璃上,由出射信号光束在玻璃中形成微裂纹,由调制后的残留泵浦光束使玻璃中的微裂纹受控制地扩展,使聚焦后的激光光斑沿切割路径扫描待加工玻璃,实现对玻璃的切割。本发明只需要一个激光光源在一道工序中即能完成对玻璃的切割。
  • 激光加工装置、及激光加工方法-202180060941.2
  • 坂本刚志;佐野育;杉浦银治 - 浜松光子学株式会社
  • 2021-03-29 - 2023-05-12 - B23K26/067
  • 本发明是用于对对象物照射激光来形成改性区域的激光加工装置,其具备:用于支撑所述对象物的支撑部、用于朝向被所述支撑部支撑的所述对象物照射所述激光的照射部、用于使所述激光的聚光区域相对于所述对象物相对移动的移动部、以及用于控制所述移动部及所述照射部的控制部。所述对象物具有结晶结构,该结晶结构含有:(100)面、一个(110)面、另一个(110)面、与所述一个(110)面正交的第1结晶方位、和与所述另一个(110)面正交的第2结晶方位,并且所述对象物是以所述(100)面成为所述激光的入射面的方式支撑于所述支撑部。
  • 激光加工装置、及激光加工方法-202180060970.9
  • 坂本刚志;佐野育;杉浦银治 - 浜松光子学株式会社
  • 2021-03-29 - 2023-05-05 - B23K26/067
  • 本发明是用于对对象物照射激光来形成改性区域的激光加工装置,其具备:用于支撑所述对象物的支撑部、用于朝向被所述支撑部支撑的所述对象物照射所述激光的照射部、用于使所述激光的聚光区域相对于所述对象物相对移动的移动部、以及用于控制所述移动部及所述照射部的控制部,所述对象物具有结晶结构,该结晶结构含有:(100)面、一个(110)面、另一个(110)面、与所述一个(110)面正交的第1结晶方位、和与所述另一个(110)面正交的第2结晶方位,并且所述对象物是以所述(100)面成为所述激光的入射面的方式支撑于所述支撑部,在所述对象物设定有从与所述入射面交叉的Z方向观察时呈圆环状的线。
  • 激光加工装置、及激光加工方法-202180061227.5
  • 坂本刚志;佐野育;杉浦银治 - 浜松光子学株式会社
  • 2021-03-29 - 2023-05-05 - B23K26/067
  • 本公开的激光加工装置,用于对具有结晶结构的对象物照射激光来形成改性区域,其具备:支撑部,其用于支撑所述对象物;照射部,其用于朝向所述支撑部所支撑的所述对象物照射所述激光;移动部,其用于使所述激光的聚光区域相对于所述对象物相对移动;以及控制部,其用于控制所述移动部及所述照射部,在所述对象物,从与所述激光的入射面交叉的Z方向观察,设定有包含圆弧状的第1区域与圆弧状的第2区域的圆环状的线,所述照射部,具有用于成形所述激光的成形部。
  • 一种双光路激光发射装置和激光切割设备-202222597607.5
  • 陈永智;张满强;王德友;潘冬;赵磊 - 成都莱普科技股份有限公司
  • 2023-02-08 - 2023-04-28 - B23K26/067
  • 本申请实施例涉及光学设备领域,尤其涉及一种双光路激光发射装置和激光切割设备。双光路激光发射装置包括:激光头、第一扩束镜、分光元件,用于将主激光束分光为第一激光束和第二激光束;第一光路组件,第一光路组件包括沿第一激光束传播方向分布的第一全反镜、第一振镜和第一聚焦镜;以及第二光路组件,第二光路组件包括沿第二激光束传播方向分布的第二全反镜、第二振镜和第二聚焦镜。激光头出射的主激光束通过分光元件分光后,分为两束激光束,由此,双光路激光发射装置发出的激光束可以照射至不同区域,使用双光路激光发射装置进行加工的过程中,可以提高加工效率。
  • 一种高速激光微纳加工装置-202223262820.7
  • 史强;周立海;朱林伟 - 烟台魔技纳米科技有限公司
  • 2022-12-06 - 2023-04-07 - B23K26/067
  • 本申请公开了一种高速激光微纳加工装置,主要涉及激光微纳加工技术领域,用以解决现有装置微纳加工效率较低的问题。包括:激光器,激光器与声光调器对接,声光调器与第一分束器相连,第一分束器分别与转镜系统相连,转镜系统与第一聚焦透镜相连,第一聚焦透镜与第二聚焦透镜相连,第二聚焦透镜与振镜相连,振镜与第三聚焦透镜相连,第三聚焦透镜与第四聚焦透镜相连,第二分束器分别与物镜和显微成像模块相连,物镜与三维移动台对接,显微成像模块和三维移动台分别与控制卡相连,控制卡分别与转镜系统、界面探测模块及计算机相连。本申请通过上述装置提高了微纳加工效率。
  • 激光加工装置、激光加工方法、及半导体构件的制造方法-202180049460.1
  • 坂本刚志 - 浜松光子学株式会社
  • 2021-03-29 - 2023-04-04 - B23K26/067
  • 本发明的激光加工装置具备:光源,其输出激光;空间光调制器,其用于将从所述光源输出的所述激光根据调制图案调制并输出;聚光透镜,其用于将从所述空间光调制器输出的所述激光聚光于对象物而在所述对象物形成聚光斑;移动部,其用于使所述聚光斑相对于所述对象物相对移动;以及控制部,其通过至少控制所述空间光调制器及所述移动部,实施:第1形成处理,将与所述对象物的所述激光的入射面交叉的Z方向上的所述聚光斑的位置设定于第1Z位置,并且沿着在沿着所述入射面的X方向上延伸的线使所述聚光斑相对移动,从而在所述对象物形成第1改性区域及从所述第1改性区域延伸的第1龟裂。
  • 激光光束分频控制装置及其工作方法-202211587865.3
  • 臧铭心;冷旭宁 - 山东省威科泰激光科技有限公司
  • 2022-12-12 - 2023-03-21 - B23K26/067
  • 一种激光光束分频控制装置,包括依次设置的泵浦源、透镜、光反射振荡器和光纤耦合器组,所述的光反射振荡器的射出点位置与光纤耦合器输入端口对应。通过光反射振荡器的多频反射,可以将高频的单根激光分束为多路激光,且能保证每一路激光的功率不降低。通过控制系统调节光反射振荡器的位置和频率,对相应的工位的激光进行启停操作,提高了能量及资源的利用率。
  • 加工光学器件、激光加工设备及激光加工方法-202180044682.4
  • D·弗拉姆;J·黑尔斯特恩;J·克莱纳;M·库姆卡尔;M·舍费尔 - 通快激光与系统工程有限公司
  • 2021-06-01 - 2023-03-21 - B23K26/067
  • 本发明涉及一种用于工件加工的加工光学器件(16),该加工光学器件包括:偏振器装置(7)和聚焦光学器件(17),该偏振器装置包括用于将尤其是脉冲式的至少一个输入激光束(3)分离为至少两个部分射束(5a,5b)的双折射偏振器元件(1a,1c),这些部分射束分别具有两个不同偏振状态之一,该聚焦光学器件在射束路径中布置在该偏振器装置(7)后方,并且用于将部分射束(5a,5b)聚焦到至少两个聚焦区上,其中偏振器装置(7)具有至少一个另外的光学元件(8,13),该至少一个另外的光学元件在射束路径中布置在该双折射偏振器元件(1a,1c)后方,并且用于改变部分射束(5a,5b)中的至少一个部分射束相对于加工光学器件(16)的光轴(6)的角度和/或间距。本发明还涉及一种包括这种加工光学器件(16)和用于产生激光束的激光源的激光加工设备,以及一种通过加工光学器件(16)对工件进行激光加工的方法。
  • 激光加工方法-202080102754.1
  • 八木崇弘;加贺慎一;渡部裕二郎;奥田刚久 - 普锐特冶金技术日本有限公司
  • 2020-09-10 - 2023-03-21 - B23K26/067
  • 激光加工方法包括如下步骤:以使排列成直线状的第一光斑、第二光斑及第三光斑依次通过被加工件的加工对象部的方式,使被加工件相对于包括所述第一光斑、所述第二光斑及所述第三光斑的多个激光光斑相对地移动,从而对所述被加工件进行加工,相对于所述第一光斑、所述第二光斑及所述第三光斑处的激光的能量的总量,所述第一光斑处的能量的比率为20%以上且30%以下,所述第二光斑处的能量的比率为20%以上且30%以下,所述第三光斑处的能量的比率为45%以上且55%以下。
  • 一种可调角度的激光扩束调焦装置-202011628191.8
  • 张硕 - 浙江迪谱诊断技术有限公司
  • 2020-12-31 - 2023-03-21 - B23K26/067
  • 本发明提出一种可调角度的激光扩束调焦装置,准直镜、扩束镜和聚焦镜依次固定在镜筒筒身上,筒身固定在调焦座上,准直镜和扩束镜通过转接环固定构成扩束组件,扩束组件一端通过转接环固定在筒身上端部,另一端通过扩束镜活动固定在筒身上,所述扩束组件可以通过转接环与筒身壁及压环和弹性元件的配合来调整角度,有效解决了现有技术光束角度无法调节或调节困难的问题,调节效果明显,调节方便。
  • 激光加工装置和激光加工方法-202180049260.6
  • 坂本刚志;是松克洋;荻原孝文 - 浜松光子学株式会社
  • 2021-07-13 - 2023-03-17 - B23K26/067
  • 激光加工装置包括照射部和控制部。照射部具有空间光调制器和使由空间光调制器调制后的激光聚光于对象物的聚光部。控制部执行第1控制,该第1控制利用空间光调制器调制激光,以使激光分束成多束加工光,并且多束加工光的多个聚光点在与激光的照射方向垂直的方向上位于彼此不同的位置。在第1控制中,调制激光,以使得在照射方向上在激光的非调制光的聚光点与对象物的同激光入射面相反的一侧的相反面之间,存在改性区域。
  • 激光加工方法、及半导体构件的制造方法-202180049476.2
  • 坂本刚志 - 浜松光子学株式会社
  • 2021-07-01 - 2023-03-17 - B23K26/067
  • 本发明的激光加工方法具备:激光加工工序,其中,对包含第1面和所述第1面的相反侧的第2面的对象物,以所述第1面为入射面而将激光聚光并形成所述激光的聚光斑,并且使所述聚光斑相对于所述对象物相对移动,从而进行所述对象物的激光加工,在所述对象物,沿着所述入射面设定有磨削预定区域,所述激光加工工序包含:第1形成工序,其中,将与所述入射面交叉的Z方向上的所述聚光斑的位置设定于第1Z位置,并且沿着在沿着所述入射面的X方向上延伸的线使所述聚光斑相对移动,从而在所述对象物形成第1改性区域及从所述第1改性区域延伸的第1龟裂。
  • 一种激光加工设备以及激光器分束光路控制系统-202221862446.1
  • 汪于涛;骆公序;王丽;张磊;黄羲凌;王浩 - 上海市激光技术研究所
  • 2022-07-19 - 2023-01-13 - B23K26/067
  • 本实用新型公开了一种激光器分束光路控制系统,该控制系统包括,沿着激光器发射的激光光路依次设置的扩束镜、λ/2波片、分光镜,以及沿着所述分光镜反射光路依次设置的第一衰减器、第一加工头,沿着所述分光镜透射光路依次设置的反射镜、第二衰减器、第二加工头。在第一工作台上设置有第一靶材,由第一加工头对在第一工作台上的第一靶材进行加工。在第二工作台上设置有第二靶材,由第二加工头对在第二工作台上的第二靶材进行加工。
  • 激光设备-202221591249.0
  • 郑磊荣;李福海;朱锐;张远胜;黄利兵;罗成钢;陈康林;陈湘文;卢庆光;林远添;高云峰 - 深圳市大族半导体装备科技有限公司
  • 2022-06-23 - 2023-01-03 - B23K26/067
  • 本实用新型公开一种激光设备,该激光设备包括支撑架、激光器、第一滑轨、驱动装置、第一出光头、第二出光头、第一光路模块和第二光路模块,激光器、第一滑轨、驱动装置、第一光路模块和第二光路模块均设置于支撑架;驱动装置上设置有载物台,驱动装置用于带动载物台运动,第一出光头和第二出光头均滑设于第一滑轨;第一光路模块用于将激光器发射的激光束传输至第一出光头,以从第一出光头射出,第二光路模块用于将激光器发射的激光束传输至第二出光头,以从第二出光头射出。本实用新型技术方案采用一个激光器实现双工位加工,同时将第一滑轨与驱动装置分离设置,可以减小第一滑轨附近的空间占用率,减小激光设备的体积。
  • 加工装置及加工方法-202211383731.X
  • 柴崎祐一 - 株式会社尼康
  • 2018-04-26 - 2022-12-30 - B23K26/067
  • 本发明的加工装置具备:第1载台系统,其具有载置工件(W)的平台(12),且使保持于平台的工件移动;光束照射系统(500),其包含射出光束(LB)的聚光光学系统(530);以及控制装置,其控制第1载台系统及照射系统;一边使平台与来自聚光光学系统的光束相对移动,一边对工件的目标部位进行加工,且可变更聚光光学系统的射出面侧的第1面(MP)上的光束的强度分布、及聚光光学系统的光轴(AX)方向上的位置与第1面不同的第2面上的光束的强度分布的至少一者。
  • 激光加工装置及激光加工方法-202180021209.4
  • 栗田隆史;泷口优 - 浜松光子学株式会社
  • 2021-02-17 - 2022-11-04 - B23K26/067
  • 本发明的激光加工装置(10)具备:空间光调制器(12),其输入从激光源(11)输出的激光(La1),输出通过全息图相位调制后的激光(La2);及控制部(18),其使空间光调制器(12)呈现:通过聚光光学系统(14)使从空间光调制器(12)输出的相位调制后的激光(La2)聚光于被加工物(W)的多个照射点(SP)的全息图。控制部(18)互相独立地控制多个照射点(SP)中包含的至少2个照射点(SP)的光强度。由此,在通过使用空间光调制器相位调制激光而对多个照射点同时进行聚光照射的激光加工装置中,可进行更复杂的加工。
  • 激光加工装置及激光加工方法-202180021284.0
  • 栗田隆史;泷口优 - 浜松光子学株式会社
  • 2021-02-17 - 2022-11-04 - B23K26/067
  • 本发明的激光加工装置(10)具备:空间光调制器(12),其输入从激光源(11)输出的激光(La1),输出通过全息图相位调制后的激光(La2);及控制部(18),其使空间光调制器(12)呈现:通过聚光光学系统(14)使从空间光调制器(12)输出的相位调制后的激光(La2)聚光于被加工物(W)的多个照射点(SP)的全息图。控制部(18)使以下两个被加工区域的形状及大小中的至少一个互不相同,该两个被加工区域为,在与照射于被加工物(W)的激光(La2)的光轴交叉的第1面内由多个照射点(SP)划定的被加工区域(A)、及在与光轴交叉且从所述第1面沿光轴方向分离的第2面内由多个照射点(SP)划定的被加工区域(A)。由此,在通过使用空间光调制器相位调制激光而对多个照射点同时进行聚光照射的激光加工装置中,可进行更复杂的加工。
  • 一种激光加工设备以及激光器分束光路控制系统-202210846620.1
  • 汪于涛;骆公序;王丽;张磊;黄羲凌;王浩 - 上海市激光技术研究所
  • 2022-07-19 - 2022-11-01 - B23K26/067
  • 本发明公开了一种激光器分束光路控制系统,该控制系统包括,沿着激光器发射的激光光路依次设置的扩束镜、λ/2波片、分光镜,以及沿着所述分光镜反射光路依次设置的第一衰减器、第一加工头,沿着所述分光镜透射光路依次设置的反射镜、第二衰减器、第二加工头。在第一工作台上设置有第一靶材,由第一加工头对在第一工作台上的第一靶材进行加工。在第二工作台上设置有第二靶材,由第二加工头对在第二工作台上的第二靶材进行加工。
  • 半导体激光加工多焦点光路系统、激光系统及加工方法-202011591887.8
  • 罗帅;黄阳;王德智;颜文广;王刚;张坤坤 - 苏州科韵激光科技有限公司
  • 2020-12-29 - 2022-10-25 - B23K26/067
  • 本发明公开了一种半导体激光加工的多焦点光路系统、激光系统及加工方法,涉及激光加工技术领域。其包括分光组件,用于将对其照射的激光分成第一激光束和/或分出激光,第一激光束用于射入光路模组;挡光组件,用于控制相邻的两个分光组件之间的光路联通或关闭;光路模组,用于分别对第一激光束的聚焦焦距参数进行调节;及光路合并组件,用于调节经过光路模组后的第一激光束的方向,并形成具有至少两个焦点的出射激光。本发明提供的一种多焦点光路系统、激光系统及加工方法,能够增加激光焦点数量,并对每个焦点能量和焦点焦深进行控制,从而解决现有半导体隐形切割时超厚度多次切割、重复切割定位精度差,重复切割影响电性的问题。
专利分类
×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

400-8765-105周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top