[发明专利]致动器及其制作方法无效
| 申请号： | 200310115773.6 | 申请日： | 2003-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN1504999A | 公开（公告）日： | 2004-06-16 |
| 发明（设计）人： | 宫野雅一;本间光尚 | 申请（专利权）人： | TDK株式会社 |
| 主分类号： | G11B5/58 | 分类号： | G11B5/58;H01L41/08;H01L41/22 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种导线易于连接的致动器及其制作方法。在本发明的致动器(10)中，一对通过掺有杂质而降低了自身电阻的硅臂(14、14)通过玻璃基板(12)相互连接。每个硅臂(14)的预定的表面(24b)形成有压电部分(20)，而压电部分(20)的预定的表面(20b)形成有薄膜电极(22)。因此，当电压施加于连接在薄膜电极(22)上的连接导线(22A)和连接于硅臂(14)上的连接导线(18A)时，压电部分(20)被驱动。由于连接导线(18A)能够连接在硅臂(14)的任何部位上，当适当选择导线(18A)易于连接的位置和表面后，线路连接即可实现。 | ||
| 搜索关键词： | 致动器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种致动器，其特征在于，包括：绝缘基板；一对掺有杂质的硅臂，各自具有一个连接所述绝缘基板的两端面的端部；压电部分，形成在每个硅臂与连接所述绝缘基板的表面相反的表面上；以及第一电极，形成在每个压电部分与所述硅臂相对的表面相反的表面上。
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