[发明专利]衬底处理装置有效

专利信息
申请号: 03822550.6 申请日: 2003-07-22
公开(公告)号: CN1759051A 公开(公告)日: 2006-04-12
发明(设计)人: C·A·霍夫梅斯特;R·T·卡夫尼;M·维斯 申请(专利权)人: 布鲁克斯自动化公司
主分类号: B65G1/133 分类号: B65G1/133
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 代理人: 肖春京
地址: 美国马*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 一种半导体工件处理装置,具有第一室,运输工具和另外的室。所述第一室能与外界气体环境隔离。运输工具处在第一室内并被第一室可动地支承着,以相对于第一室作直线运动。该运输工具包括可动地安装在底座上的整体半导体工件输送臂,该输送臂能相对于底座作多路径运动。另外的室通过第一室的可关闭开口与第一室联通。开口的尺寸做成使运输工具通过开口在第一室和另外的室之间移动。
搜索关键词: 衬底 处理 装置
【主权项】:
1.一种衬底处理装置,包括:输送室,其中的气体环境受到控制;至少一个用来保持衬底的衬底保持模块,该衬底保持模块与输送室联通,以在至少一个保持模块和输送室之间输送衬底;一个活动安装在输送室内的运输工具,运输工具具有底座和衬底输送臂,所述衬底输送臂活动连接和安装在底座上;另外的保持衬底的模块,它与输送室联通以在该模块与输送室之间输送衬底;其中输送室限定出用于运输工具的直线移动槽,所述至少一个保持模块处于槽的一侧,且臂具有使衬底移至槽的相对侧的活动连接,以使所述另外的模块选择性地连至槽任一侧的输送室,其中运输工具执行衬底在输送室与至少一个保持模块和另外的模块两者之间的输送。
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  • 本发明涉及一种洗衣机流水线用物料投放设备,开门机构的洗衣机到位探头检测到传送带上的洗衣机后,能够将传送带上的洗衣机的上盖打开,同时送料机构将水管传送到斜坡传送带顶端,洗衣机到位探头检测到上盖打开的洗衣机后,斜坡传送带继续工作将水管放入洗衣机内,然后传送带继续将洗衣机向前传送,关门机构的洗衣机到位探头检测到传送带上的洗衣机后,推轮向前运动将上盖盖上,完成洗衣机内水管的放置,操作实现自动化,无需人员去盯着,提高工作效率。
  • 一种钢锭和圆钢的保温存储装置-202210010368.0
  • 吴振忠;舒美良;马红军;王建波;胡燕侠;张宏宇;陈政达;张佑江;汪天玉;汪百友 - 安徽富凯特材有限公司
  • 2022-01-05 - 2022-03-08 - B65G1/133
  • 本发明公开了一种钢锭和圆钢的保温存储装置,涉及一种存储设备,包括保温箱本体,还包括三层支架,所述三层支架顶层底部的两侧安装有两个平行且延伸方向与三层支架延伸方向相同的导轨,两个所述导轨构成的整体上架设有多个所述保温箱本体,且每个处于所述导轨上的保温箱本体的底部分别通过一个辊轮组与所述导轨滑动连接,所述三层支架中层内均匀安装有多个所述保温箱本体,所述三层支架底层均匀安装有水平且延伸方向与导轨延伸方向垂直的滑轨组,每个所述滑轨组上均通过一个滑轮组与一个设于三层支架底层内的保温箱本体连接,所有所述保温箱本体的延伸方向均相同;本发明能够有效进行自然冷却和高温存储的同步进行。
  • 一种医用耗材放置架-202121129442.8
  • 许鎏芳;杨秀瑾 - 桐乡市第一人民医院
  • 2021-05-25 - 2022-02-11 - B65G1/133
  • 本实用新型公开了一种医用耗材放置架,包括三脚架,三脚架的内侧面上对称设置两组转辊组,转辊组包括三个于三脚架端点处设置的转辊,两组转辊组上分别绕设传送带,两条传送带之间架设若干等间距分布的连接杆,连接杆上设置弹簧板,弹簧板倾斜于传送带设置且远离传送带一侧连接U型叉槽,U型叉槽的底面上设置向着传送带方向延伸的挡板;三脚架对的下部还架设有一块定位板,U型叉槽中放置医用耗材而使弹簧板弯曲后最靠近定位板的U型叉槽上的挡板抵接于挡板表面。通过上述结构,医护人员只需按照保质期长短将医用耗材依序放置后即可实现依序拿取。且当下方医用耗材被拿取后,U型叉槽自动下降后移从而实现自动循环,方便了后续医用耗材的补充。
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