[发明专利]有机硅氧烷无效

专利信息
申请号: 03818530.X 申请日: 2003-06-03
公开(公告)号: CN1671772A 公开(公告)日: 2005-09-21
发明(设计)人: W·贝德维尔;N·哈克尔;R·梁;N·伊瓦莫托;J·内德巴尔;S·谢;L·莫罗;S·穆克赫吉 申请(专利权)人: 霍尼韦尔国际公司
主分类号: C08G77/12 分类号: C08G77/12;C08G77/20;B05D3/02;B05D3/06;C23C16/00;H01L21/31
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 代理人: 卢新华;王景朝
地址: 美国新*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 发明提供一种有机硅氧烷,包括至少80重量%的化学式1:[Y0.01-1.0SiO1.5-2] a[Z0.01-1.0SiO1.5-2] b[H0.01-1.0SiO1.5-2] c此处Y是芳基;Z是烯基;a是15-70%的化学式1;b是2-50%的化学式1;和c是20-80%的化学式1。本有机硅氧烷可以用作为陶瓷粘合剂,高温密封剂和纤维基质粘合剂。本组合物也适用于作为一种粘结促进剂,在与非微电子或微电子场合中其它材料结合时呈现良好粘结性。优选地是,本组合物用于微电子场合中作为蚀刻阻挡层(stops)、硬掩模(hardmasks)和绝缘体(dielectrics)。
搜索关键词: 有机硅
【主权项】:
1.一有机硅氧烷,包括至少80重量%的化学式1:[Y0.01-1.0SiO1.5-2]a[Z0.01-1.0SiO1.5-2]b[H0.01-1.0SiO1.5-2]c,此处Y是芳基;Z是链烯基;a为化学式1的15-70%;b为化学式1的2-50%;和c为化学式1的20-80%。
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