[发明专利]盘状物体的湿处理方法有效
| 申请号： | 03805161.3 | 申请日： | 2003-02-17 |
| 公开（公告）号： | CN1639842A | 公开（公告）日： | 2005-07-13 |
| 发明（设计）人： | 哈里·萨克斯 | 申请（专利权）人： | SEZ股份公司 |
| 主分类号： | H01L21/00 | 分类号： | H01L21/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 郭思宇 |
| 地址： | 奥地利*** | 国省代码： | 奥地利;AT |
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| 摘要： | 本发明涉及用第一液体和至少一种第二液体在盘状物体的规定表面上对盘状物体进行处理的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 物体 处理 方法 | ||
【主权项】：
1.一种盘状物体的处理方法，至少在盘状物体的规定边缘区域中使用第一液体和至少一种第二液体，该第一液体与第二液体不同，该方法的特征在于包括下列连续步骤：1.1 将盘状物体移至掩模附近，使盘状物体与掩模的距离a1等于或大于0mm，并使掩模在盘状物体的待处理区域中与盘状物体交迭；1.2 施加第一液体，以使其保留在掩模和盘状物体之间的区域中；1.3 将掩模和盘状物体之间的距离增加到距离a2；1.4 去除保留在盘状物体上的第一液体的残留物；1.5 将掩模和盘状物体之间的距离减少为距离b1；1.6 施加第二液体，以使其保留在掩模和盘状物体之间的区域中；1.7 将掩模和盘状物体之间的距离增加到距离b2；1.8 去除保留在盘状物体上的第二液体的残留物。
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