[实用新型]热灯丝化学气相沉积装置中的加热器

摘要

本实用新型涉及一种均匀生长大面积薄膜的热灯丝化学气相沉积装置中由灯丝排布与灯丝架组成的加热器。它包括：灯丝、灯丝固定器、螺丝和支腿、弹簧和灯丝挂板；2根灯丝固定器分别横架在2根金属支腿顶上用螺母固定；灯丝固定器的一侧壁上开螺孔和顶面上设有沟槽；所述的灯丝为直的，并且为N根平行排列，一端嵌在沟槽内末端通过螺丝与灯丝固定器的侧壁上开螺孔安装固定住；直灯丝另一端嵌入灯丝固定器的另一端的沟槽，其直灯丝末端与钼制弹簧的一端相连接，弹簧的另一端与灯丝挂板相连，灯丝挂板用螺丝固定在两根铜支腿上；支腿与生长薄膜的反应室底盘设一绝缘套。本实用新型的灯丝平整，热场均匀，灯丝电接触良好，有利于大面积薄膜的生长。

主权项

1.一种热灯丝化学气相沉积装置中的加热器，包括：灯丝(1)、灯丝固定器(3)、螺丝(6)和支腿(8)；其特征在于：还包括：弹簧(9)和灯丝挂板(10)；2根灯丝固定器(3)分别横架在(2)根金属支腿(8)顶上用螺母(7)固定；灯丝固定器(3)的一侧壁上开螺孔和顶面上设有沟槽(5)；所述的灯丝(1)为直的，并且为N根平行排列，一端嵌在沟槽(5)内末端通过螺丝(6)与灯丝固定器(3)的侧壁上开螺孔安装固定住；直灯丝(1)另一端嵌入灯丝固定器(3)的另一端的沟槽(5)，其直灯丝(1)末端与钼制弹簧(9)的一端相连接，弹簧(9)的另一端与灯丝挂板(10)相连，灯丝挂板(10)用螺丝(11)固定在两根铜支腿(8)上；支腿(8)与生长薄膜的反应室底盘(15)设一绝缘套(14)。