[发明专利]微机电传感器有效
| 申请号： | 02817344.9 | 申请日： | 2002-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN1552081A | 公开（公告）日： | 2004-12-01 |
| 发明（设计）人： | 阿特·齐亚斯;菲尔·莫格尔;西恩·卡希尔;诺姆·奈斯特龙;阿尔伯特·K·亨宁 | 申请（专利权）人： | 雷德伍德微系统公司 |
| 主分类号： | H01G5/00 | 分类号： | H01G5/00;H01G7/00;H01G5/16;H01G5/06;H01G4/38 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 陶凤波;侯宇 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明公开了一种力或压力换能器(200)。在一个实施例中，换能器(200)具有衬底(230)、设置在衬底(230)上的介电材料(220)、间隔部件(240)、以及设置在介电材料(220)和间隔部件(240)上的弹性元件(210)。弹性元件(210)的一部分与介电材料(220)隔开，并且弹性元件(210)的一部分与介电材料(220)相接触。弹性元件(210)与介电材料(220)之间的接触面积响应弹性元件(210)的移动而变化。接触面积的变化改变了换能器(200)的电容，其可以通过电路装置测量。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种装置，包括：衬底，构造为起电容器第一电极的作用；弹性元件，至少其一部分以预定的间隙与衬底隔开，其构造为起电容器第二电极的作用；以及间隔部件，设置在衬底与弹性部件之间，以距衬底的、大于所述预定间隙的距离支撑部分的弹性部件，从而限定与其中衬底和弹性元件以所述预定间隙隔开的区域相对应的电容器有效电极面积，有效电极面积响应弹性元件相对于衬底的移动而变化，并且导致了电容器电容的变化。
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