[发明专利]在SiC衬底上形成的GaN基LED在审

专利信息
申请号: 02809205.8 申请日: 2002-06-12
公开(公告)号: CN1505843A 公开(公告)日: 2004-06-16
发明(设计)人: D·T·埃默森;A·C·阿贝尔;M·J·伯格曼 申请(专利权)人: 克里公司
主分类号: H01L33/00 分类号: H01L33/00
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人: 蔡胜有
地址: 美国北*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 本申请公开了一种发光二极管。该二极管包括:具有第一导电类型的碳化硅衬底(21);位于SiC衬底之上的、导电类型与衬底相同的第一氮化镓层(25);在GaN层(27)上的、由选自GaN、InGaN和AlInGaN的多个交替层重复系列形成的超晶格;位于超晶格上、导电类型与第一GaN层相同的第二GaN层(30);第二GaN层上的多量子阱(31);多量子阱上的第三GaN层;位于第三GaN层(32)上、导电类型与衬底和第一GaN层相反的接触结构;对SiC衬底的欧姆接触;和对接触结构的欧姆接触。
搜索关键词: sic 衬底 形成 gan led
【主权项】:
1.一种发光二极管,包括:具有第一导电类型的碳化硅衬底;所述SiC衬底之上、导电类型与所述衬底相同的第一氮化镓层;所述GaN层上、由选自GaN、InxGa1-xN其中0<x<1和AlxInyGa1-x-yN其中0<x<1;0<y<1;0<x+y<1的交替层的多个重复系列构成的超晶格;所述超晶格上、导电类型与所述第一GaN层相同的第二GaN层;所述第二GaN层上的多量子阱;所述多量子阱上的第三GaN层;所述第三GaN层上、导电类型与所述衬底和所述第一GaN层相反的接触结构;对所述SiC衬底的欧姆接触;和对所述接触结构的欧姆接触。
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