[发明专利]在SiC衬底上形成的GaN基LED在审
申请号: | 02809205.8 | 申请日: | 2002-06-12 |
公开(公告)号: | CN1505843A | 公开(公告)日: | 2004-06-16 |
发明(设计)人: | D·T·埃默森;A·C·阿贝尔;M·J·伯格曼 | 申请(专利权)人: | 克里公司 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 蔡胜有 |
地址: | 美国北*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本申请公开了一种发光二极管。该二极管包括:具有第一导电类型的碳化硅衬底(21);位于SiC衬底之上的、导电类型与衬底相同的第一氮化镓层(25);在GaN层(27)上的、由选自GaN、InGaN和AlInGaN的多个交替层重复系列形成的超晶格;位于超晶格上、导电类型与第一GaN层相同的第二GaN层(30);第二GaN层上的多量子阱(31);多量子阱上的第三GaN层;位于第三GaN层(32)上、导电类型与衬底和第一GaN层相反的接触结构;对SiC衬底的欧姆接触;和对接触结构的欧姆接触。 | ||
搜索关键词: | sic 衬底 形成 gan led | ||
【主权项】:
1.一种发光二极管,包括:具有第一导电类型的碳化硅衬底;所述SiC衬底之上、导电类型与所述衬底相同的第一氮化镓层;所述GaN层上、由选自GaN、InxGa1-xN其中0<x<1和AlxInyGa1-x-yN其中0<x<1;0<y<1;0<x+y<1的交替层的多个重复系列构成的超晶格;所述超晶格上、导电类型与所述第一GaN层相同的第二GaN层;所述第二GaN层上的多量子阱;所述多量子阱上的第三GaN层;所述第三GaN层上、导电类型与所述衬底和所述第一GaN层相反的接触结构;对所述SiC衬底的欧姆接触;和对所述接触结构的欧姆接触。
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