[发明专利]光致抗蚀剂组合物及用其形成图案的方法有效
| 申请号： | 02145838.3 | 申请日： | 2002-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN1432871A | 公开（公告）日： | 2003-07-30 |
| 发明（设计）人： | 李有京;姜圣哲;周振豪;李东基 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/008 | 分类号： | G03F7/008;G03F7/012;G03F7/00;G02F1/1333 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 贾静环,宋莉 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开一种包括热致酸生成剂的光致抗蚀剂组合物和用其形成图案的方法。该光致抗蚀剂组合物包括约100重量份的碱溶性丙烯酰基共聚物，约5－100重量份的1，2－醌二叠氮化合物，约2－35重量份的含氮交联剂，约0.1－10重量份的加热能产生酸的热致酸生成剂。在基底上涂覆光致抗蚀剂组合物并干燥，形成光致抗蚀剂层。通过使用具有预定形状的掩模使光致抗蚀剂层曝光。通过使用含水碱性溶液使曝光的光致抗蚀剂层显影，形成光致抗蚀剂图案。加热这样得到的光致抗蚀剂图案，使其固化，不会产生热回流。 | ||
| 搜索关键词： | 光致抗蚀剂 组合 形成 图案 方法 | ||
【主权项】：
1、一种光致抗蚀剂组合物，其包括约100重量份的碱溶性丙烯酰基共聚物，约5-100重量份的1，2-醌二叠氮化合物，约2-35重量份的含氮交联剂和约0.1-10重量份的加热能产生酸的热致酸生成剂。
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