[发明专利]分割单晶的方法和装置以及对该方法用于确定单晶取向的调节装置和试验方法有效
| 申请号： | 01817631.3 | 申请日： | 2001-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN1469942A | 公开（公告）日： | 2004-01-21 |
| 发明（设计）人： | 拉尔夫·哈默;安德烈·克伦韦克特;蒂洛·弗拉德;科妮莉亚·库曼;拉尔夫·格鲁辛斯基 | 申请（专利权）人： | 弗赖贝格化合物原料有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/00 | 分类号： | C30B33/00;B28D5/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 张兆东 |
| 地址： | 德国弗*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 提供一种用于分割单晶，特别是分割GaAs单晶的方法，其中使一待切成至少两部分的单晶(1)和一切割工具(2、3；8、8a、8b、8c)相互相对沿进给方向(V)移动，并且将单晶(1)定向成使一规定的结晶方向(K)位于切割平面(T)内，其特征在于，在规定的结晶方向(K)与进给方向(V)之间的夹角(ρ)这样选择，即使得在切割过程中沿垂直于切割平面作用到切割工具上的各力相互抵消。 | ||
| 搜索关键词： | 分割 方法 装置 以及 用于 确定 取向 调节 试验 | ||
【主权项】：
1.用于分割单晶材料的方法，其中使一待切成至少两部分的单晶(1)和一切割工具(2、3；8、8a、8b、8c)相互相对沿进给方向(V)移动，并且将单晶(1)定向成使一规定的结晶方向(K)位于切割平面(T)内，其特征在于，在规定的结晶方向(K)与进给方向(V)间的夹角(ρ)这样选择，即使得在切割过程中沿垂直于切割平面(T)作用到切割工具上的各力相互抵消或合成一预定的力。
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