[发明专利]利用等离子体的耐腐蚀亲水性多层膜形成的方法

摘要

本发明公开了一种利用等离子体的耐腐蚀性和亲水性多层膜形成的方法，工程室的内部设置上部电极和下部电极，上部电极和下部电极作为负极。在上部电极和下部电极之间通过，作为正极的材料位于真空间内部，向真空间内部注入六甲基二硅氧烷和氦气气的混合气体，同时，向材料和上部电极和下部电极施加直流电源，形成等离子体。利用等离子体在材料的表面形成耐腐蚀层。然后，将已经形成耐腐蚀层的材料重新放入真空间，注入碳氢系列气体和氦气的混合气体。同时，施加直流电源形成等离子体。利用等离子体在材料的表面上形成亲水层。于是形成了具有耐腐蚀性和亲水性的多层膜。空调机的散热片铝材可以通过上述方法提高材料的耐腐蚀性和亲水性。

主权项

1.一种利用等离子体的耐腐蚀亲水性多层膜形成的方法，其特征是利用等离子体形成具有耐腐蚀性和亲水性的多层膜的方法，分为具有耐腐蚀性的耐腐蚀层形成阶段和具有亲水性的亲水层形成阶段依次进行：1).工程室(101)内部设置作为负极的上部电极(102)和下部电极(103)，同时将作为正极的材料(104)位于工程室(101)内部，在上述状态下，将工程室(101)内部的压力维持真空状态，同时向上述工程室(101)内部以1500sccm：2100sccm的比例注入六甲基二硅氧烷和氦气气，同时对上述上部电极(102)、下部电极(103)和材料(104)施加直流电压1100V～1300V，形成等离子体，利用该等离子体激发混合气体在金属表面形成具有耐腐蚀性的耐腐蚀层(102)；2).将已经形成耐腐蚀层(121)的上述材料(104)放入工程室(101)内部的状态下，向工程室(101)内部以700sccm：2100sccm的比例注入碳氢系列气体和氦气气，同时对上述上部电极(102)、下部电极(103)和材料(104)施加直流电压1000V～1300V，形成等离子体，利用该等离子体激发混合气体在金属表面形成具有亲水性的亲水层(122)。