[发明专利]故障检测半导体测试系统无效
| 申请号： | 01109570.9 | 申请日： | 2001-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN1321891A | 公开（公告）日： | 2001-11-14 |
| 发明（设计）人： | 安东尼·勒;罗基特·拉尤斯曼;詹姆斯·艾伦·特恩奎斯特;菅森茂 | 申请（专利权）人： | 株式会社鼎新 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R31/28 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 蹇炜 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 半导体测试系统,检测并评估被测器件,包括事件存储器,存贮事件的定时数据;事件发生器,产生测试模式、选通信号和期望模式;引线电子设备,设置在发生器和DUT之间,从事件发生器发送测试模式到DUT,并接收DUT的输出信号,及对输出信号取样;模式比较器,比较引线电子设备的取样输出数据与期望模式,失配时产生故障信号;故障检测单元,接收DUT的输出信号,统计输出信号中的边缘数并与边缘的期望值比较测定在输出信号中的故障。 | ||
| 搜索关键词： | 故障 检测 半导体 测试 系统 | ||
【主权项】：
1.一种用于测试半导体器件的半导体测试系统，包括：事件存储器，用于存贮事件数据，该事件数据与要产生的预期信号中的事件有关，该预期信号用于测试被测半导体器件(DUT)；事件发生器，用于产生预期信号，该预期信号是基于来自事件存储器的事件数据的测试模式，选通信号和期望模式；引线电子设备，设置在事件发生器和DUT之间，用于从事件发生器向DUT发送测试模式，并且接收DUT的输出信号，以及由来自事件发生器的选通信号的定时对输出信号取样；模式比较器，用于比较引线电子设备的取样输出数据与期望模式，并且当其中存在有失配时，产生故障信号；以及故障检测单元，用于接收来自DUT的输出信号，并且通过统计在输出信号中的边缘数以及与边缘的期望值进行比较来测定在输出信号中的故障。
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