[发明专利]故障检测半导体测试系统

权利要求书

1.一种用于测试半导体器件的半导体测试系统，包括：

事件存储器，用于存贮事件数据，该事件数据与要产生的预期信号中的事件有关，该预期信号用于测试被测半导体器件(DUT)；

事件发生器，用于产生预期信号，该预期信号是基于来自事件存储器的事件数据的测试模式，选通信号和期望模式；

引线电子设备，设置在事件发生器和DUT之间，用于从事件发生器向DUT发送测试模式，并且接收DUT的输出信号，以及由来自事件发生器的选通信号的定时对输出信号取样；

模式比较器，用于比较引线电子设备的取样输出数据与期望模式，并且当其中存在有失配时，产生故障信号；以及

故障检测单元，用于接收来自DUT的输出信号，并且通过统计在输出信号中的边缘数以及与边缘的期望值进行比较来测定在输出信号中的故障。

2.根据权利要求1中限定的半导体测试系统，其特征在于：故障检测单元包含边缘计数单元，当DUT被提供以测试模式时，该边缘计数单元用于统计来自DUT的输出信号中的边缘数目；以及逻辑比较器，用于比较边缘数的期望值与边缘计数单元统计的边缘数。

3.根据权利要求1中限定的半导体测试系统，其特征在于：故障检测单元包含第一边缘计数单元，当DUT被提供以测试模式时，该第一边缘计数单元用于统计来自DUT的输出信号中的边缘数目；第二边缘计数单元，用于统计来自事件发生器的期望模式中的边缘数目；以及逻辑比较器，该逻辑比较器用于对由第一个边缘计数单元和由第二边缘计数单元统计的边缘数目进行比较。

4.根据权利要求2中限定的半导体测试系统，其特征在于，边缘计数单元包括：

第一模拟比较器，通过与提供的高阈值电压进行比较，检测来自DUT的输出信号中的变化；

第二模拟比较器，通过与提供的低阈值电压进行比较，检测来自DUT的输出信号中的变化；

第一边缘计数器，用于统计来自第一模拟比较器的上升边缘数目；

第二边缘计数器，用于统计来自第二模拟比较器的下降边缘数目；以及

多路复接器，该多路复接器用于选定来自第一个边缘计数器或第二边缘计数器的统计数据，以提供给逻辑比较器。

5.根据权利要求3中限定的半导体测试系统，其特征在于，每一个第一和第二边缘计数单元包括：

第一模拟比较器，通过与提供的高阈值电压进行比较，该第一模拟比较器用于测定来自DUT的输出信号中的变化；

第二模拟比较器，通过与提供的低阈值电压进行比较，该第二模拟比较器用于测定来自DUT的输出信号中的变化；

第一边缘计数器，该第一边缘计数器用于统计来自第一模拟比较器的上升边缘数目；

第二边缘计数器，该第二边缘计数器用于统计来自第二模拟比较器的上升边缘数目；以及

多路复接器，该多路复接器用于选定来自第一边缘计数器或第二边缘计数器的统计数据，以提供给逻辑比较器。

6.一种用于测试半导体器件的半导体测试系统，包括：

事件存储器，该事件存储器用于存贮与要产生的预期信号中的事件有关的事件数据，所述预期信号用于检测被测半导体器件(DUT)；

事件发生器，该事件发生器用于产生预期信号，该预期信号是基于来自事件存储器的事件数据的测试模式，选通信号和期望模式；

引线电子设备单元，设置在事件发生器和DUT之间，分别用于从事件发生器发送测试模式到DUT和接收DUT的输出信号，并通过来自事件发生器的选通信号的定时对输出信号取样；以及

模式比较器，用于对来自引线电子设备单元的取样输出数据与期望模式进行比较，并当其中存在有失配时，产生故障信号；

其中，当测试模式被提供给DUT时，多个选通信号被提供给引线电子设备单元，该选通信号具有足够小到能测定输出信号中的故障的给定的时间间隔。

7.根据权利要求6中限定的半导体测试系统，其特征在于：选通信号是在DUT的输出信号中的给定时间段内连续地变化的选通脉冲点的选通信号。