[发明专利]测定激光束光斑特性的方法和设备无效
| 申请号： | 00814200.9 | 申请日： | 2000-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN1378642A | 公开（公告）日： | 2002-11-06 |
| 发明（设计）人： | 金曼·伊;特兰斯·N·克拉彭 | 申请（专利权）人： | 维思克斯公司 |
| 主分类号： | G01J1/00 | 分类号： | G01J1/00;G01C1/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 蒋世迅 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种测定激光束光斑(20)尺寸的方法,包括使激光束(18)沿扫过参考刀口(30)的路径扫描,该参考刀口有一光电检测器(40)位于其后;和测量光电检测器(40)在扫描期间的输出信号,该输出信号与扫描期间入射光电检测器(40)的激光束光斑(20)面积对应。 | ||
| 搜索关键词： | 测定 激光束 光斑 特性 方法 设备 | ||
【主权项】：
1.一种测定激光束特性的方法，包括：使激光束沿扫过参考刀口的路径扫描，该参考刀口后面有一光电检测器；和测量光电检测器在扫描期间的输出信号，该输出信号与扫描期间入射光电检测器的激光束面积对应。
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