[发明专利]测定激光束光斑特性的方法和设备

权利要求书

1.一种测定激光束特性的方法，包括：

使激光束沿扫过参考刀口的路径扫描，该参考刀口后面有一光电检测器；和

测量光电检测器在扫描期间的输出信号，该输出信号与扫描期间入射光电检测器的激光束面积对应。

2.按照权利要求1的方法，其中激光束特性的测定包括：

通过在光电检测器扫描期间，对输出信号的强度积分，测定激光束光斑的尺寸。

3.按照权利要求1的方法，其中激光束特性的测定包括：

通过测定光电检测器扫描期间的输出信号到达最大输出信号强度的一半，定出激光束的中心位置。

4.按照权利要求1的方法，其中激光束特性的测定包括：

通过测定光电检测器的输出信号强度，到达介于最大信号强度的第一个分数与最大信号强度的第二个分数之间的中点信号强度，据此定出激光束的中心位置，其中，最大信号强度的第一个分数和第二个分数，加起来等于最大信号强度。

5.按照权利要求4的方法，其中，

第一个分数是最大信号强度的10％，而第二个分数是最大信号强度的90％。

6.按照权利要求1的方法，其中，

其中激光束特性的测定包括：

测定激光束沿扫描路径方向的宽度，方法是：

通过测定光电检测器开始发送输出信号，指示激光束已入射其上，据此定出激光束的前沿位置；

通过测定光电检测器的输出信号到达最大输出信号，定出激光束的后沿位置；和

测定激光束前沿与后沿之间的间隔。

7.按照权利要求1的方法，其中激光束特性的测定包括：

通过测量扫描期间输出信号的变化率，测定激光束的形状。

8.按照权利要求1的方法，其中激光束特性的测定包括：

通过测量扫描期间输出信号变化率的对称性，测定激光束的形状。

9.按照权利要求1的方法，其中，

当激光束扫过参考刀口时，激光束是垂直于光电检测器的。

10.一种测定激光束特性的方法，包括：

使激光束沿第一路径扫描，扫过第一参考刀口，在第一参考刀口后面有第一光电检测器；

使激光束沿第二路径扫描，扫过第二参考刀口，在第二参考刀口后面有第二光电检测器；其中第一参考刀口与第二参考刀口成一角度；

测量第一和第二光电检测器在扫描期间的输出信号，该输出信号与扫描期间入射第一和第二光电检测器的激光束面积对应。

11.按照权利要求10的方法，其中，

该角度一般成直角。

12.一种测定激光束特性的方法，包括：

使激光束沿第一路径扫描，扫过第一参考刀口；

使激光束沿第二路径扫描，扫过第二参考刀口，其中一光电检测器位于第一和第二参考刀口后面，且其中第一和第二参考刀口互成一角度；并且，在扫描期间测量光电检测器的输出信号，该输出信号与扫描期间入射光电检测器的激光束面积对应。

13.按照权利要求12的方法，其中，

第一参考刀口和第二参考刀口共同构成一平面单元的一角。

14.按照权利要求10或12的方法，其中使用工具对扫描激光束的探测，包括：

通过在光电检测器扫描期间，对输出信号的强度积分，测定激光束光斑的尺寸。

15.按照权利要求10或12的方法，其中使用工具对扫描激光束的探测，包括：

在沿第一和第二方向每个方向扫描期间，通过测定光电检测器的输出信号到达最大输出信号强度的一半，定出激光束的中心位置。

16.按照权利要求10或12的方法，其中使用工具对扫描激光束的探测，包括：

测定激光束沿第一和第二扫描方向的宽度，方法是；

通过测定至少一个光电检测器开始发送输出信号，指示激光束已入射其上，据此定出激光束沿第一和第二方向每个方向的前沿位置；

通过测定至少一个光电检测器的输出信号到达最大输出信号，定出激光束沿第一和第二方向每个方向的后沿位置；和

测定激光束沿第一和第二方向每个方向的前沿与后沿之间的间隔。