[发明专利]金属电极的制作方法

摘要

本发明的目的在于提供金属电极的制作方法,在用光刻法构图来构成以PDP为代表的显示板的总线电极和数据电极等金属电极的情况下,可以实质上消除卷边,直至没有卷边影响的程度。因此,本发明包括干燥工序,使得从溶剂高含有率区域和溶剂高吸收率区域向溶剂低含有率区域产生溶剂的流动(F1、F2、F3)。

主权项

1.一种金属电极的制作方法，将同种或不同种的金属层进行层积，其特征在于包括：第一印刷工序，将混合第一金属材料、感光性树脂及溶剂的第一感光性材料层状地印刷；第一干燥工序，使所述印刷层干燥；第一曝光工序，在所述干燥后通过对印刷层进行曝光，使得曝光区域不均，从而以规定图形来形成溶剂的吸收率高的溶剂高吸收率区域、以及溶剂的吸收率比该溶剂高吸收率区域低的溶剂低吸收率区域；第二印刷工序，在所述曝光过的印刷层上通过层状地印刷混合第二金属材料、感光性树脂及溶剂的第二感光性材料，在位于所述溶剂高吸收率区域上的部分形成溶剂低含有率区域，在所述溶剂低吸收率区域上的部分形成溶剂含有率比所述溶剂低含有率区域高的溶剂高含有率区域；第二干燥工序，进行干燥，使得从所述第二印刷工序印刷的印刷层的所述溶剂高含有率区域和第一印刷工序印刷的印刷层的所述溶剂高吸收率区域向所述第二印刷工序印刷的印刷层的所述溶剂低含有率区域来产生溶剂的流动；第二曝光工序，在所述干燥后进行曝光，以便残留所述溶剂低含有率区域的相当部分；显影工序，在该曝光后通过集中显影来使电极图形显影；以及烧制工序，通过烧制所述显影过的电极图形来形成金属电极。