[发明专利]金属电极的制作方法

权利要求书

1.一种金属电极的制作方法，将同种或不同种的金属层进行层积，其特征在于包括：

第一印刷工序，将混合第一金属材料、感光性树脂及溶剂的第一感光性材料层状地印刷；

第一干燥工序，使所述印刷层干燥；

第一曝光工序，在所述干燥后通过对印刷层进行曝光，使得曝光区域不均，从而以规定图形来形成溶剂的吸收率高的溶剂高吸收率区域、以及溶剂的吸收率比该溶剂高吸收率区域低的溶剂低吸收率区域；

第二印刷工序，在所述曝光过的印刷层上通过层状地印刷混合第二金属材料、感光性树脂及溶剂的第二感光性材料，在位于所述溶剂高吸收率区域上的部分形成溶剂低含有率区域，在所述溶剂低吸收率区域上的部分形成溶剂含有率比所述溶剂低含有率区域高的溶剂高含有率区域；

第二干燥工序，进行干燥，使得从所述第二印刷工序印刷的印刷层的所述溶剂高含有率区域和第一印刷工序印刷的印刷层的所述溶剂高吸收率区域向所述第二印刷工序印刷的印刷层的所述溶剂低含有率区域来产生溶剂的流动；

第二曝光工序，在所述干燥后进行曝光，以便残留所述溶剂低含有率区域的相当部分；

显影工序，在该曝光后通过集中显影来使电极图形显影；以及

烧制工序，通过烧制所述显影过的电极图形来形成金属电极。

2.一种金属电极的制作方法，将同种或不同种的金属层进行层积，其特征在于包括：

第一印刷工序，将混合第一金属材料、感光性树脂及溶剂的第一感光性材料层状地印刷；

第一干燥工序，通过加热所述印刷层，使得加热区域不匀，从而以规定图形来形成溶剂的吸收率高的溶剂高吸收率区域、以及溶剂的吸收率比该溶剂高吸收率区域低的溶剂低吸收率区域；

第二印刷工序，在所述干燥后的所述印刷层上通过层状地印刷混合第二金属材料、感光性树脂及溶剂的第二感光性材料，在位于所述溶剂高吸收率区域上的部分形成溶剂低含有率区域，在所述溶剂低吸收率区域上的部分形成溶剂含有率比所述溶剂低含有率区域高的溶剂高含有率区域；

第二干燥工序，进行干燥，使得从所述第二印刷工序印刷的印刷层的所述溶剂高含有率区域和第一印刷工序印刷的印刷层的所述溶剂高吸收率区域向所述第二印刷工序印刷的印刷层的所述溶剂低含有率区域来产生溶剂的流动；

曝光工序，在所述干燥后进行集中曝光，以便残留所述溶剂高吸收率区域和溶剂低含有率区域的相当部分；

显影工序，在该曝光后通过集中显影来使电极图形显影；以及

烧制工序，通过烧制所述显影过的电极图形来形成金属电极。

3.如权利要求1或2所述的金属电极的制作方法，其特征在于，在所述第二干燥工序中，通过以10～40℃/min的升温速度快速加热来进行干燥。

4.如权利要求3所述的金属电极的制作方法，其特征在于，在所述第二干燥工序中，在溶剂高含有率区域表面上，在配置溶剂非透过性构件的状态下进行干燥。

5.如权利要求1所述的金属电极的制作方法，其特征在于，通过使所述第一曝光工序和所述第二曝光工序中的曝光量不同来控制显影工序中溶解膜厚的程度，从而控制膜厚。

6.如权利要求1或2的金属电极的制造方法，其特征在于，第一感光性材料由至少RuO黑色颜料、包含Ag、Cr、Cu、Al、Pt、Ag-Pd中的至少一种的金属材料、感光性树脂和溶剂的混合物组成，第二感光性材料由至少包含Ag、Cr、Cu、Al、Pt、Ag-Pd中的至少一种的金属材料、感光性树脂和溶剂的混合物组成。

7.一种金属电极的制作方法，包括：

印刷工序，将混合金属材料、感光性树脂和溶剂的感光性材料层状地印刷；

干燥工序，使所述印刷层干燥；

曝光工序，在干燥后以规定的图形进行曝光；

显影工序，在曝光后进行显影，显影电极图形；以及

烧制工序，通过烧制所述显影过的电极图形来形成金属电极；

其特征在于，在所述干燥工序中，通过加热印刷层，使得加热区域不均，从而产生从未干燥部向干燥部流动溶剂。

8.如权利要求7所述的金属电极的制作方法，其特征在于，所述干燥工序通过对作为电极的部分照射激光来进行干燥。