[发明专利]金属电极的制作方法

说明书

技术领域

本发明涉及等离子体显示屏板等中的金属电极的改进的制作方法。

背景技术

图14表示等离子体显示屏板(以下称为PDP)的现有例。本图是AC型PDP的部分剖面的斜视图。

如图所示，AC型PDP是重合前面基板15、带状的多个数据电极81和背面基板25来形成的，前面基板15在透明的第一玻璃基板70(绝缘基板)上平行配置多对成对组成的带状扫描电极71和维持电极72，在其上层积介质层13和保护层14；带状的多个数据电极81在第二玻璃基板80(绝缘基板)上与扫描电极71和维持电极72垂直；而背面基板在其上配置介质层82，平行排列带状的隔壁83，以便在该介质层82上夹入数据电极81，而且，在隔壁23间沿侧壁设置各色的荧光层84。

在前面基板75和背面基板85间形成的间隙内封入氦、氖、氩、氪、氙中至少一种以上的稀有气体作为放电气体，在该气体封入空间中扫描电极71、维持电极72和数据电极81交叉的空间部分成为发光单元90(也称为放电空间)。

上述扫描电极71和维持电极72分别由带状的导电性的透明电极71a、72a、在其上形成的比透明电极宽度窄的带状的包含银(Ag)的总线电极71b、72b构成。数据电极81与上述总线电极同样也包含Ag。

其次，该AC型PDP的动作如下：在经初始化、寻址期间后的驱动动作的维持期间，在扫描电极71和维持电极72之间交替施加脉冲电压，通过在经扫描电极71上的介质层73的保护层74的表面和经维持电极72上的介质层73的保护层74的表面之间产生的电场，在放电空间90内产生维持放电，来自该维持放电的紫外线激励荧光层84的荧光体，使来自该荧光层84的可见光用于显示发光。

这里，简要说明在第一玻璃基板上形成的扫描电极71、维持电极72、介质层73和保护层74的形成方法。首先，在第一玻璃基板70上形成氧化锡或氧化铟钛(ITO)组成的带状导电性的透明电极71a、72a，通过在其上使用含有Ag的感光膏来烧制按照光刻法构图的电极，形成含包Ag的带状的总线电极71b、72b。而且，在其上印刷电介质玻璃膏，通过烧制来形成介质层73。然后，通过镀敷氧化锰(MgO)来形成保护层74。

下面，简要说明在第二玻璃基板上形成的数据电极81、介质层82、隔壁83和荧光层84的形成方法。首先，在第二玻璃基板80上用Ag感光膏通过光刻法和烧制来形成包含Ag的带状的数据电极81。

而且，在其上通过印刷、烧制介质玻璃膏来形成介质层82。然后，在使用丝网印刷法、光刻法等方法形成隔壁83后，使用丝网印刷法、喷墨法等方法来形成荧光层84。

然后，在前面基板75和背面基板85彼此的外周部插入密封用玻璃材料的状态下，通过使该密封用玻璃熔融冷却来粘结(密封)彼此的基板，通过随后的排气、封入处理来完成屏板。

下面用附图更具体说明上述用Ag感光膏按照光刻法来制作上述总线电极71b、72b、数据电极81的情况。图15表示光刻法的流程的工程图。以前面基板为例来说明。

首先，在第一玻璃基板70上镀敷ITO，然后，通过印刷等来涂敷Ag感光膏来形成Ag感光膏层100(图15(a))。接着，从这样形成的Ag感光膏层100实施干燥处理，以便使溶剂消失。

接着，通过使紫外线101穿过光掩模102进行照射，在Ag感光膏层上形成曝光部103和未曝光部104(图15(b))。该曝光部103后来成为总线电极的图形。

接着，通过进行显影处理将所述曝光部固定在第一玻璃基板70上(图15(c))。将这样用显影处理来固定的部分称为电极烧制前体105。

接着，通过进行烧制处理，使所述电极烧制前体105成为总线电极本体(图15(d))。在该处理中，从图15(c)和图15(d)的比较可知，电极烧制前体的其大小缩小(在附图中有若干夸张)。

这样，如果用Ag感光膏按照光刻法来进行构图，然后则必然实施烧制处理，以便烧掉膏中的树脂成分，但此时发生的卷边在以往成为问题。这被认为主要因加热时应力作用引起的显影。

图15(d)表示放大总线电极的放大图，并表示卷边显影。如该图所示，卷边是在烧制总线电极的电极烧制前体105的短边方向的两边缘部分后，向第一玻璃基板上方弯曲增大的显影。如果发生这样的卷边，则在其上部难以形成介质层，此外，由于烧制后的边缘部分的角度变尖，在其上形成的介质层的绝缘容易被破坏。因此，有通过研磨烧制后的总线电极、数据电极的边缘部，来使卷边没有的情况。