[发明专利]化学汽相淀积设备及利用该设备合成碳纳米管的方法

摘要

提供了一种化学汽相淀积设备和利用该设备合成碳纳米管的方法。该化学汽相淀积设备在一片或多片基片上合成碳纳米管,并且包括包含多个垂向轴的载物舟,沿着每一根轴设置用于支撑基片的支撑突出物,基片水平向平行地安装在支撑突出物上。而且,该化学汽相淀积设备包括具有在其一端的用于供应反应气的通道,以及在其另一端的用于排放反应气的通道的反应炉,其成型为长方体的内部设置载物舟,以及设置在反应炉外部的加热单元。采用这种化学汽相淀积设备可以大量合成碳纳米管。

主权项

1．一种用于在一片或多片基片上合成碳纳米管的化学汽相淀积设备，该设备包括：包含多个垂向轴的载物舟，沿着每一根轴设置用于支撑基片的支撑突出物，基片水平向平行地安装在支撑突出物上；反应炉，该反应炉具有在其一端的用于供应反应气的通道，以及在其另一端的用于排放反应气的通道，该反应炉内部成型为一个长方体来将载物舟设置于其中；以及设置在反应炉外部的加热单元。