[发明专利]光刻胶组合物,其制备方法和用其形成图纹的方法

摘要

本发明公开了一种具有改善的感光度和分辨率的正性光刻胶组合物,该组合物的制备方法,以及在半导体工艺中使用该组合物形成图纹的方法。该光刻胶组合物包括(i)由用分子式(1)表示的第一种感光化合物和用分子式(2a)或(2b)表示的第二种感光化合物混合得到的感光物质;(ii)树脂;和(iii)溶剂。由于该光刻胶组合物的高感光度和高分辨率,本发明可以制作具有特别优异轮廓的图纹。

主权项

1．一种光刻胶组合物，该组合物包括：(ⅰ)由约30-70％重量比的用分子式(1)表示的第一种感光化合物和约70-30％重量比的用分子式(2a)或(2b)表示的第二种感光化合物混合得到的感光物质；(ⅱ)树脂；和(ⅲ)溶剂；在分子式(1)中，R1和R2分别选自氢原子，1，2-萘醌叠氮-4-亚砜基，1，2-萘醌叠氮-5-亚砜基，1，2-萘醌叠氮-6-亚砜基，和它们的混合物，其中R1和R2不能同时是氢原子，n1和n2代表0，1，2或3并且不能同时是0，和在分子式(2a)和(2b)中，R3，R4和R5分别选自氢原子，1，2-萘醌叠氮-4-亚砜基，1，2-萘醌叠氮-5-亚砜基，1，2-萘醌叠氮-6-亚砜基，和它们的混合物，其中R3，R4和R5不能同时是氢原子，X1a，X1b，X1c，X1d，X2a，X2b和X2c分别选自氢原子或烷基，并且n3代表1或2。