[发明专利]一种用于微机械器件制作玻璃/硅键合装置及其使用方法

摘要

一种用于微机械器件制作的玻璃/硅键合装置，主要由探针电极工作台、显微镜、CCD及监视器组件，硅片加热工作台及玻璃片定位工作台四部分组成，实施在玻璃/硅片受热膨胀变形均匀稳定后进行对准并同时键合，使键合对准精度达到1微米的要求，提高了键合器件的精度和性能。

主权项

1、一种用于微机械器件制作玻璃/硅键合装置，其特征在于它包括：①固定探针电极(5)的工作台(1)，该工作台(1)有x位移手轮(2)，y位移手轮(3)和z位移手轮(4)，固定探针电极(10)的工作台(6)，该工作台(6)有x位移手轮(7)，y位移手轮(8)和z位移手轮(9)；②用于调节对准时观察对准状况的显微镜(12)、CCD及监视器(13)的组件；③硅片加热工作台(21)，该加热工作台(21)由电热丝(24)对硅片(23)进行加热，该加热工作台(21)具有z位移手轮(25)和绕z轴旋转手轮(26)；④玻璃片定位工作台(14)，该定位工作台(14)有x位移细调手轮(15)和x位移粗调手轮(16)，有y位移粗调手轮(17)和y位移细调手轮(18)，还有绝热定位盘(19)用以真空吸附玻璃片。