[发明专利]一种透明导电薄膜及其制备方法无效
| 申请号： | 00115362.5 | 申请日： | 2000-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN1267061A | 公开（公告）日： | 2000-09-20 |
| 发明（设计）人： | 章壮健;杨锡良;陈华仙;孟杨;沈杰 | 申请（专利权）人： | 复旦大学 |
| 主分类号： | H01B5/14 | 分类号： | H01B5/14;H01L31/00;C23C14/22;C23C14/08 |
| 代理公司： | 复旦大学专利事务所 | 代理人： | 陆飞 |
| 地址： | 20043*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种新的透明导电薄膜及其制备方法。该薄膜以氧化铟为主氧化物,以六价元素钼或钨为掺杂元素。制备时,在玻璃基板上先镀一层氧化铟作为防护散阻挡层,然后掺杂,控制掺杂元素的掺入量,制得透明导电薄膜氧化铟钼(钨)。该薄膜具有良好的导电性能,制备工艺也简单。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 透明 导电 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种透明导电薄膜，以氧化铟为主体，其特征在于以6价元素X为掺杂元素，X的掺入量为总重量的3-5％，这里X为钼或钨。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于复旦大学，未经复旦大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/00115362.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
