[发明专利]化学增强型正光刻胶组合物无效
| 申请号： | 00103514.2 | 申请日： | 2000-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN1268680A | 公开（公告）日： | 2000-10-04 |
| 发明（设计）人： | 上谷保则;大桥贤治;井上博贵 | 申请（专利权）人： | 住友化学工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 严舫 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种有良好分辨率的正光刻胶组合物,包括如式(Ⅰ)代表的脂肪族锍盐的酸发生剂Q1代表烷基,Q2代表烷基或脂肪族烃的残基,m代表1到8的整数;至少一种鎓盐选自式(Ⅱa)表示的三苯基锍盐和式(Ⅱb)表示的二苯基碘鎓盐Q3、Q4、Q5、Q6和Q7独立地代表氢、羟基、含1—6个碳原子的烷基,含1—6个碳原子的烷氧基,q和p代表4—8的整数;和(2)一种聚合单元有对酸不稳定的基团的树脂。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 增强 光刻 组合 | ||
【主权项】：
1.一种化学增强型正光刻胶组合物，其特征在于包括：(1)一种含有下式(I)代表的脂肪族锍盐的酸发生剂：其中Q1代表烷基，和Q2代表烷基或脂环族烃的残基，m代表1到8的整数；至少一种鎓盐选自下式(IIa)表示的三苯基锍盐和下式(IIb)表示的二苯基碘鎓盐：其中Q3、Q4、Q5、Q6和Q7独立地代表氢、羟基、含1-6个碳原子的烷基，含1-6个碳原子的烷氧基，q和p代表4-8的整数；以及(2)一种聚合单元有对酸不稳定的基团的树脂，自身不溶或几乎不溶于碱，但在酸的作用下能变成溶于碱。
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