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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]用于结合基板的装置及方法-CN201910180698.2有效
发明人： M.温普林格;V.德拉戈伊;C.弗勒特根 -专利权人： EV 集团 E·索尔纳有限责任公司
申请日： 2013-09-25 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于在第一基板(1)的结合侧与第二基板(14)的结合侧之间生产能够导电直接结合的装置以及相对应的方法，具有下列特征：具有能够相对于环境气体密封地闭合的并且能够加载有真空的工作空间(22)，所述工作空间(22)包括：a)至少一个等离子体腔室(4)，用于更改所述结合侧的至少一个；及至少一个结合腔室(5)，用于结合所述结合侧和/或b)至少一个组合的结合等离子体腔室(20)，用于更改所述结合侧的至少一个并且用于结合所述结合侧。
用于结合装置方法

[发明专利]用于结合两个基板的装置和方法-CN202310010441.9在审
发明人： M.温普林格;F.库尔茨;V.德拉戈伊 -专利权人： EV 集团 E·索尔纳有限责任公司
申请日： 2016-09-29 - 公布日： 2023-04-11 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本提出了用于结合两个基板的装置、系统和方法。第一基板保持器具有凹部和隆起。
用于结合两个装置方法

[发明专利]用于结合两个基板的装置和方法-CN202310010432.X在审
发明人： M.温普林格;F.库尔茨;V.德拉戈伊 -专利权人： EV集团E·索尔纳有限责任公司
申请日： 2016-09-29 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：提出了用于结合两个基板的装置、系统和方法。第一基板保持器具有凹部和隆起。
用于结合两个装置方法

[发明专利]用于结合两个基板的装置和方法-CN201680089133.8有效
发明人： M.温普林格;F.库尔茨;V.德拉戈伊 -专利权人： EV 集团 E·索尔纳有限责任公司
申请日： 2016-09-29 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：提出了用于结合两个基板的装置、系统和方法。第一基板保持器具有凹部和隆起。
用于结合两个装置方法

[发明专利]用于使基材在结合之前对准的方法-CN201680031184.5有效
发明人： V.德拉戈伊 -专利权人： EV 集团 E·索尔纳有限责任公司
申请日： 2016-06-01 - 公布日： 2022-04-19 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于使具有至少两个第一对准标记的第一基材(7)与具有至少两个第二对准标记(8’)的第二基材(7’)对准的方法，其中，通过第一关联在X方向和在Y方向上使第一对准标记(8)关联于基材(7)的至少两个第一独特的对准特征(9)，通过第二关联在X方向和在Y方向上使第二对准标记(8’)关联于第二基材(7’)的至少两个第二独特的对准特征(9’)并且通过对准借助于第一和第二独特的对准特征(9,9’)在X和Y方向上使第一(8)和第二对准标记(8’)彼此对准。此外，本发明设计一种对应的装置。
用于基材结合之前对准方法

[发明专利]用于永久连接两个金属表面的方法-CN201510912162.7有效
发明人： M.温普林格;V.德拉戈伊 -专利权人： EV集团E·索尔纳有限责任公司
申请日： 2011-02-23 - 公布日： 2020-10-27 - 主分类号： H01L21/60 文献下载
摘要：本发明涉及用于永久连接两个金属表面的方法。本发明涉及用于在第一衬底的第一金属表面和第二衬底的第二金属表面之间制造永久的导电连接的方法，具有如下方法步骤：定向和键合第一和第二金属表面，其中在两个金属表面紧密接触期间进行温度步骤，使得在第一和第二金属表面之间的空洞通过塑性变形被封闭。
用于永久连接两个金属表面方法

[发明专利]用于结合基板的装置及方法-CN201910180697.8在审
发明人： M.温普林格;V.德拉戈伊;C.弗勒特根 -专利权人： EV集团E·索尔纳有限责任公司
申请日： 2013-09-25 - 公布日： 2019-07-12 - 主分类号： H01L21/18 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于在第一基板(1)的结合侧与第二基板(14)的结合侧之间生产能够导电直接结合的装置以及相对应的方法，具有下列特征：具有能够相对于环境气体密封地闭合的并且能够加载有真空的工作空间(22)，所述工作空间(22)包括：a)至少一个等离子体腔室(4)，用于更改所述结合侧的至少一个；及至少一个结合腔室(5)，用于结合所述结合侧和/或b)至少一个组合的结合等离子体腔室(20)，用于更改所述结合侧的至少一个并且用于结合所述结合侧。
等离子体腔室工作空间闭合第二基板第一基板环境气体结合基板直接结合结合腔导电密封生产

[发明专利]用于永久连接两个金属表面的方法-CN201510912169.9有效
发明人： M.温普林格;V.德拉戈伊 -专利权人： EV集团E·索尔纳有限责任公司
申请日： 2011-02-23 - 公布日： 2019-05-14 - 主分类号： H01L21/60 文献下载
摘要：本发明涉及用于永久连接两个金属表面的方法。本发明涉及用于在第一衬底的包括金属和非金属区域的第一表面和第二衬底的包括金属和非金属区域的第二表面之间制造永久的导电连接的方法，具有如下方法步骤：处理第一和/或第二表面，使得在连接表面时制造至少主要由于在表面的金属区域的金属离子和/或金属原子之间的置换扩散而产生的永久的导电连接，定向和键合第一和第二表面，其中在处理、定向和键合期间不超过最大300℃的过程温度。
用于永久连接两个金属表面方法

[发明专利]用于结合基板的装置及方法-CN201380079847.7有效
发明人： M.温普林格;V.德拉戈伊;C.弗勒特根 -专利权人： EV集团E·索尔纳有限责任公司
申请日： 2013-09-25 - 公布日： 2019-04-16 - 主分类号： H01L21/18 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于在第一基板(1)的结合侧与第二基板(14)的结合侧之间生产能够导电直接结合的装置以及相对应的方法，具有下列特征：具有能够相对于环境气体密封地闭合的并且能够加载有真空的工作空间(22)，所述工作空间(22)包括：a)至少一个等离子体腔室(4)，用于更改所述结合侧的至少一个；及至少一个结合腔室(5)，用于结合所述结合侧和/或b)至少一个组合的结合等离子体腔室(20)，用于更改所述结合侧的至少一个并且用于结合所述结合侧。
用于结合装置方法

[发明专利]用于永久连接两个金属表面的方法-CN201510912165.0在审
发明人： M.温普林格;V.德拉戈伊 -专利权人： EV集团E·索尔纳有限责任公司
申请日： 2011-02-23 - 公布日： 2016-04-20 - 主分类号： H01L21/60 文献下载
摘要：本发明涉及用于永久连接两个金属表面的方法。本发明涉及用于在第一衬底的第一金属表面和第二衬底的第二金属表面之间制造永久的导电连接的方法，具有如下方法步骤：通过产生表面缺陷处理第一和第二金属表面，使得在连接金属表面时制造至少主要由于在两个金属表面的金属离子和/或金属原子之间的置换扩散而产生的永久的导电键合，定向和键合第一和第二金属表面，其中应用热处理，使得发生第一和第二金属表面的近表面层的构造的再组织。
用于永久连接两个金属表面方法

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