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[发明专利]用于使用彩色摄像机测量厚度的方法和装置-CN201610122109.1有效
发明人：金侊乐;权纯阳;金宰湖;朴喜载 -专利权人： SNU精密股份有限公司
申请日： 2016-03-03 - 公布日： 2019-11-15 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种使用彩色摄像机测量厚度的方法和装置，该方法包括滤波操作、光强度获取操作、扫描操作以及曲线图制作操作。滤波操作通过声光可调滤波器对从白光源发射的光的多个波长范围内的多个波长进行滤波。光强度获取操作通过彩色摄像机同时获取多个波长范围内的多个波长的光强度信号。扫描操作在每个波长范围内以预定间隔执行与波长同样多的扫描的情况下通过重复执行滤波操作和光强度获取操作来获取波长范围中的每个波长范围内的多个光强度信号。曲线图制作操作合成多个光强度信号以制作反射率关于全部光谱的曲线图。
用于使用彩色摄像机测量厚度方法装置

[发明专利]校正白光相移干涉仪中的条纹级次的误差的方法-CN201610179390.2有效
发明人：玄昌洪;金星龙;朴喜载 -专利权人： SNU精密股份有限公司
申请日： 2016-03-25 - 公布日： 2019-04-19 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：公开了一种校正白光相移干涉仪中的条纹级次的误差的方法，所述方法包括：获取干涉信号，确定位置索引，计算真实位置。在获取干涉信号的操作中，通过彩色照相机在红色干涉信号、绿色干涉信号和蓝色干涉信号中获取至少两个彩色干涉信号。在确定索引位置的操作中，具有至少两个彩色干涉信号之间最小相位差的位置被确定为零级干涉信号的位置索引。在计算真实位置的操作中，通过在位置中设置与所述零级干涉信号的位置索引相对应的位置来计算光具有最大强度的零级干涉信号真实位置，作为零级干涉信号测量位置，其中在通过黑白照相机获取的黑白干涉信号中测量干涉信号，以及在零级干涉信号测量位置增加或减少零级干涉信号测量位置的相位值。
校正白光相移干涉仪中的条纹级次误差方法

[发明专利]TSV测量装置及测量方法-CN201480018599.X有效
发明人：黄映珉;金星龙;赵泰英 -专利权人： SNU精密股份有限公司
申请日： 2014-03-24 - 公布日： 2018-07-27 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：本发明公开了能够测量诸如TSV的通孔的TSV测量装置及测量方法。用于测量形成在测量对象物的TSV的TSV测量装置，包括：光源；数字可变光圈部，被提供于从光源照射的光的路径上，并且根据TSV的纵横比(aspect ratio)调节从光源照射的光的照射面积；分束器，以相互垂直的第一方向与第二方向分割并输出通过数字可变光圈部的光，并且结合第一反射光及第二反射光来输出其结合光，其中第一反射光为从配置在第一方向的所述测量对象物反射的光，第二反射光为从配置在第二方向的镜面反射的光；及检测部，利用从分束器引导出的结合光来测量TSV。数字可变光圈部无物理性的移动且对应于TSV的纵横比来选择性地具有相互不同的口径大小的执行光圈功能。
tsv 测量装置测量方法

[发明专利]干涉测量中的扫描同步方法-CN201510194518.8有效
发明人：尹都永;金愍手;朴种宽;金兑昱;朴喜载 -专利权人： SNU精密股份有限公司
申请日： 2015-04-22 - 公布日： 2018-01-09 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：公开了一种干涉测量中的扫描同步方法，所述方法包括产生振荡信号；使物体振荡；产生图像触发信号；施加图像触发信号；以及移动测量头。产生振荡信号包括产生具有用于使物体振荡的预定周期的第一振荡信号，并产生具有与第一振荡信号同步的脉冲波形的第二振荡信号。使物体振荡包括通过第一振荡信号使物体振荡。产生图像触发信号包括通过在第二振荡信号的周期的每整数倍时对第二振荡信号进行采样来产生图像触发信号。施加图像触发信号包括向图像获取器施加图像触发信号，以便获取物体图像。移动测量头包括在图像获取器获取物体的图像后，通过测量头驱动器将测量头移动预定的距离。因此，当物体振荡时在相同的相位处获取所述物体的图像。
干涉测量中的扫描同步方法

[发明专利]干涉测量中的扫描同步方法-CN201510194459.4有效
发明人：尹都永;金愍手;朴种宽;金兑昱;朴喜载 -专利权人： SNU精密股份有限公司
申请日： 2015-04-22 - 公布日： 2017-11-24 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：公开了干涉测量中的扫描同步方法，包括产生第一和第二振荡信号；产生第三振荡信号；使物体振荡；产生图像触发信号；施加图像触发信号。产生第一和第二振荡信号包括产生具有用于使物体振荡的预定周期的第一振荡信号，并产生具有与第一振荡信号同步脉冲波形的第二振荡信号。产生第三振荡信号包括产生第三振荡信号，其在第二振荡信号周期的每整数倍时被延迟预定相位。使物体振荡包括通过第一振荡信号使物体振荡。产生图像触发信号包括通过在被延迟的第三振荡信号的每个脉冲处对第三振荡信号采样来产生图像触发信号。施加图像触发信号包括向图像获取器施加图像触发信号以便获取物体的图像。因此，当物体振荡时在不同相位处获取物体图像。
干涉测量中的扫描同步方法

[发明专利]使用干涉测量法测量振荡的方法-CN201510217532.5有效
发明人：金愍手;尹都永;朴种宽;金兑昱;朴喜载 -专利权人： SNU精密股份有限公司
申请日： 2015-04-30 - 公布日： 2017-10-27 - 主分类号： G01B11/25 文献下载
摘要：公开了一种使用干涉测量法测量振荡的方法，该方法包括获取图像的步骤、计算移动宽度的步骤，计算振幅的步骤以及计算周期的步骤。获取图像的步骤包括针对以预定周期振荡的物体，每隔特定时间间隔顺序地获取物体的图像。计算移动宽度的步骤包括计算多个所获取的图像内的莫尔图案的左右移动宽度。计算振幅的步骤包括基于莫尔图案的相邻图案之间的距离、发射到物体的光的波长以及莫尔图案的左右移动宽度来计算物体的振幅。计算周期包括基于返回时间计算物体的周期，其中在该返回时间期间，莫尔图案在其左右移动宽度内从初始位置开始并且返回到初始位置。
使用干涉测量振荡方法

[发明专利]用于检查液晶的注射情况的方法和装置-CN201610824521.8在审
发明人：黄映珉;金宰湖;金兑昱;李锺勋 -专利权人： SNU精密股份有限公司
申请日： 2016-09-13 - 公布日： 2017-08-18 - 主分类号： G02F1/13 文献下载
摘要：公开了一种用于检查液晶的注射情况的方法和装置，其中具有被注射在上基板与下基板之间的液晶的液晶盒被局部挤压，并且由此挤压度改变，使得可以基于该挤压度来检查液晶的注射情况。为此，检查液晶的注射情况的方法包括挤压步骤，以预设压力在挤压位置处挤压液晶盒；测量步骤，测量液晶盒在挤压步骤中挤压的挤压位置处的挤压度；以及检查步骤，将液晶盒的挤压度与预设参考变形度进行比较。在检查步骤中，如果液晶盒的挤压度在预设参考变形度的误差范围内，则确定液晶在正常注射情况下，而如果液晶盒的挤压度在预设参考变形度的误差范围之外，则确定液晶在不良注射情况下。
用于检查液晶注射情况方法装置

[发明专利]用于检查液晶的注射情况的方法和装置-CN201610821929.X在审
发明人：黄映珉;金宰湖;金兑昱;李锺勋 -专利权人： SNU精密股份有限公司
申请日： 2016-09-13 - 公布日： 2017-06-13 - 主分类号： G02F1/13 文献下载
摘要：公开了一种用于检查液晶的注射情况的方法和装置，其中具有注射在上基板与下基板之间的液晶的液晶盒在被光照射的同时局部挤压，使得可以基于来自液晶盒的光泄漏来检查液晶的注射情况。为此，检查注射在液晶盒的上基板与下基板之间的液晶的注射情况的方法包括挤压步骤，以预设压力在挤压位置处挤压液晶盒；照射步骤，通过光照射整个液晶盒或液晶盒的挤压位置；光泄漏测量步骤，在经受挤压步骤和照射步骤的同时测量在挤压位置处穿过液晶盒的光的泄漏；以及检查步骤，将在光泄漏测量步骤中测量的光泄漏与预设参考变化进行比较。
用于检查液晶注射情况方法装置

[发明专利]集成式形状测量装置-CN201410323081.9在审
发明人：尹都永;金兑昱;黄映珉;朴喜载 -专利权人： SNU精密股份有限公司
申请日： 2014-07-08 - 公布日： 2015-03-18 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种集成式形状测量装置。其包括：反射干涉仪单元、透射干涉仪单元和光探测器。反射干涉仪单元包括第一光源以及反射干涉仪。反射干涉仪将从第一光源发射的光传输到待测物体和参考镜，基于从待测物体反射的光和参考镜的参考光形成干涉条纹。透射干涉仪单元包括配置为发射单色光的第二光源以及透射干涉仪。透射干涉仪将从第二光源发射的光进行分光，使得一部分光能透射通过待测物体而另一部分光不能透射通过待测物体，基于透射通过待测物体的光和未透射通过待测物体的光形成干涉条纹光。探测器被置于待测物体的上方并且探测所述干涉条纹。在该装置中，根据待测物体的透光率而选择性地使用反射干涉仪单元和透射干涉仪单元中的一者。
集成形状测量装置

[发明专利]导辊设备-CN201310367352.6有效
发明人：宋旭;朴明进;姜明成;郑基泽 -专利权人： SNU精密股份有限公司
申请日： 2013-08-21 - 公布日： 2014-03-12 - 主分类号： B65G39/18 文献下载
摘要：发明公开了一种导辊设备，其包括：传递单元、多个第一辊、第二辊、带、以及第二辊移动单元。传递单元支撑传递对象并且沿着传递方向对传递对象进行传递。所述多个第一辊布置在传递对象的侧向侧部处、沿着传递方向间隔开、并且沿着传递方向引导传递对象。第二辊在传递对象的侧向侧部处布置在邻近的第一辊之间。带卷绕在邻近的第一辊之中的关于传递方向布置在第二辊后方的第一辊以及第二辊两者上。第二辊移动单元使第二辊在靠近传递对象的方向和离开传递对象的方向之间往复运动。
设备

[发明专利]喷雾喷嘴单元-CN201310367263.1有效
发明人：郑基泽;崔虎重;姜明成;宋旭 -专利权人： SNU精密股份有限公司
申请日： 2013-08-21 - 公布日： 2014-03-12 - 主分类号： B05B13/02 文献下载
摘要：发明公开了一种喷雾喷嘴单元，该喷雾喷嘴单元包括：喷嘴主体、密封构件、垫圈构件、及弹簧构件。喷嘴主体包括喷雾孔，该喷雾孔内部地形成为竖直地穿透喷嘴主体并且蒸发的原材料经过该喷雾孔，并且该喷嘴主体穿透地联接至容置有原材料的腔室的外壁。密封构件安装在喷嘴主体与腔室的外壁之间，并且将喷嘴主体与腔室的外壁之间气密地密封住以防止蒸发的原材料在喷嘴主体与腔室的外壁之间泄漏。垫圈构件联接至喷嘴主体的放置于腔室的内部的下端部分。弹簧构件安装在垫圈构件与腔室的外壁的内表面之间，并且朝向腔室的外壁和垫圈构件弹性地偏压，使得喷嘴主体可紧密地接触该腔室的外壁。
喷雾喷嘴单元

[发明专利]选择性线性蒸发设备-CN201310369910.2无效
发明人：崔虎重;郑基泽;姜明成;宋旭 -专利权人： SNU精密股份有限公司
申请日： 2013-08-22 - 公布日： 2014-03-12 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：公开的是一种选择性线性蒸发设备，该设备包括多个线性蒸发器、角度限制板、遮挡构件以及驱动器。所述多个线性蒸发器分别朝向基片蒸发不同的原材料，并且沿着基片的传输方向间隔开。该角度限制板朝向线性蒸发器的上侧以预定高度安装在线性蒸发器的相对侧处并且限制了从线性蒸发器蒸发的原材料的扩散角度。该遮挡构件安装在线性蒸发器的上方以及角度限制板之间，并且包括使线性蒸发器向外侧打开的打开部以及使线性蒸发器从外侧关闭的关闭部。该驱动器驱动遮挡构件以在原材料从线性蒸发器蒸发时将打开部定位在线性蒸发器的上方，并在原材料未从线性蒸发器蒸发时将关闭部定位在线性蒸发器的上方。
选择性线性蒸发设备

[发明专利]遮罩存放与基板输送室及其操作方法-CN201210459143.X有效
发明人：尹成勋;赵晃新;宋基哲;李在镇 -专利权人： SNU精密股份有限公司
申请日： 2012-11-15 - 公布日： 2013-11-20 - 主分类号： H01L51/56 文献下载
摘要：本发明公开了一种遮罩存放与基板输送室。所述遮罩存放与基板输送室包括第一空间部、第二空间部、遮罩存放单元以及移动单元。所述第一空间部的侧部具有门，基板或遮罩通过所述门进出。所述第二空间部连接到所述第一空间部。所述遮罩存放单元内堆叠有多个遮罩。所述移动单元往复地移动所述遮罩存放单元以选择性地将所述遮罩存放单元置于所述第一空间部或所述第二空间部。当所述遮罩存放单元置于所述第一空间部时，所述遮罩通过所述门进出，当所述遮罩存放单元置于所述第二空间部时，基板通过所述门进出。
存放输送及其操作方法

[发明专利]有机材料沉积系统-CN201210483534.5无效
发明人：李亨培;安东愿 -专利权人： SNU精密股份有限公司
申请日： 2012-11-23 - 公布日： 2013-10-23 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种有机材料沉积系统，尤其是涉及一种用于在传输室中驱动机械手以将基材传输到工艺室中的结构简化，从而当对工艺室中的两个基材实施有机材料沉积工序时，用于基材的有机材料沉积工序的换向时间最短的有机材料沉积系统。
有机材料沉积系统

[发明专利]用于连续地沉积薄膜的设备-CN201310001946.5有效
发明人：李亨培;郑基泽;赵晃新;尹成勋 -专利权人： SNU精密股份有限公司
申请日： 2013-01-04 - 公布日： 2013-07-10 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：公开了一种用于连续地沉积薄膜的设备，所述设备包括：材料存储单元；材料预热单元；材料传送单元；材料蒸发单元；以及坩埚传送单元。所述材料存储单元存储有机材料。所述材料预热单元将填充有所述有机材料的坩埚预热至比所述有机材料的蒸发点低的温度。所述材料传送单元从所述材料存储单元接收预定量的有机材料，并且将所述有机材料传送到放置于所述材料预热单元中的所述坩埚中。所述材料蒸发单元向所述坩埚供应热量并且蒸发填充在所述坩埚中的所述有机材料。所述坩埚传送单元将由所述材料预热单元预热的所述坩埚运入所述材料蒸发单元中或者将耗尽所述有机材料的所述坩埚运出所述材料蒸发单元。
用于连续沉积薄膜设备

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